판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9183643

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 고급 노출 제어 기술과 리소그래피 프로세스를 결합한 포토 esist 장비입니다. 전용 노출 제어 (Exposure Control) 및 위치 지정 알고리즘을 사용하여 선 너비 (Line Width) 노출 및 정렬에서 정밀도 및 정확도가 높아집니다. 또한, 이 장치의 빠른 응답과 안정적인 노출 에너지 보상은 웨이퍼 전반에 걸쳐 우수한 라인 너비 균일성을 보장합니다. TEL ACT 8 기계는 대용량 고해상도 웨이퍼 이미징 노출 제어 기술을 사용하여 탁월한 단계, 반복 정확도 및 정렬을 보장합니다. 여기에는 고급 노출 제어 (Exposure Control) 및 노출 제어 미세 튜닝 (Fine-Tuning) 을 제공하여 효과적인 노출 관리를 위한 자동 노출 제어 도구 알고리즘이 포함됩니다. 또한, 넓은 영역의 이미징과 높은 광학 확대를 통해 자산이 고정밀 리소그래피 프로세스에서 작은 결함, 미세 패턴, 접촉 구멍 등을 검사할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8 모델은 소프트웨어 제어 현미경 스캐닝을 사용하여 높은 정확도와 반복 가능한 노출 효율성을 돕기 위해 높은 정밀도를 제공합니다. 또한 웨이퍼 핸들러와 스캐너는 최대 30 미크론 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 정확도를 제공하여 고품질의 리토 그래피 프로세스를 보장합니다. 텔 액트 (TEL ACT) 8 (TEL ACT 8) 장비에는 노출 안정성과 패턴 크기 변화를 지속적으로 모니터링하는 고급 프로세스 모니터도 함께 제공되어 출력을 정확하게 유지할 수 있습니다. 또한 시스템에는 리소그래피 프로세스 동안 자동으로 이상을 감지하는 통합 ADIA (Automatic Defect Inspection Analysis) 프로그램이 있습니다. 따라서 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 운영 중단을 줄일 수 있습니다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 고성능 포토 esist 유닛입니다. 고급 노출 제어 기술 (Exposure Control Technology) 과 리소그래피 프로세스 (Lithography Process) 를 결합하여 선폭 노출 및 정렬에서 매우 정밀하고 정확성을 보장합니다. 빠른 응답과 신뢰성 있는 노출 에너지 보상은 웨이퍼 전반에 걸쳐 우수한 라인 너비의 균일성을 보장하는 반면, 대용량 이미징, 고급 Process Monitor 및 ADIA 프로그램은 잠재적 문제를 파악하고 결함을 줄일 수 있습니다.