판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9181934
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판매
ID: 9181934
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
(2) Coaters / (2) Developers system, 8"
Software version: 1.18.003
Hardware configuration (Fab):
Main system:
(1) Main body CS block
(1) Main body process block
(1) Main body interface block
(1) T&H controller
(1) Chemical cabinet
SMIF System:
(4) SMIF Indexers
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
(1) AC Power box
Equipment configuration:
Software: JapDOS
Controller: Silicon disk
Floppy disk drive: 3.5"
Hardware:
(4) Indexers
(3) Robot arms
(5) Cool plates
(6) Low temp hot plates
(2) Hot plates
(1) AD Unit
(1) WEE
(1) Cup wash
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 photolithography, mask 및 etching 프로세스와 같은 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 광사 장치 (photoresist unit) 에는 여러 가지 기능이 있어 다양한 광석기 (photolithographic) 프로세스에 사용할 수 있습니다. 우선, 이 "포토레시스트 '기계 는 특수한 형태 의 노출 머리 를 사용 하는데, 이것 은 각기 다른 수준 의 노출 을 제공 하도록 조정 할 수 있다. 이렇게 하면 사용자가 작업하는 사진 (photolithographic) 프로세스에 따라 노출을 조정할 수 있습니다. 또한, 이 포토 esist 도구는 또한 뛰어난 저항 균일성과 신뢰할 수있는 패턴을 제공하는 데 사용되는 매우 민감한 레지스트 (resist) 세대를 사용합니다. 이 저항은 다양한 필름 두께와 함께 사용할 수도 있습니다. 또한 TEL ACT 8에는 각 photolithography 프로세스에 대한 최적의 노출을 결정할 수있는 Auto Exposure Sensor Asset도 있습니다. 이 모델은 사용자가 일관된 결과를 얻기 위해 노출 설정 (Exposure Settings) 을 설정하고 제어하는 자동화된 프로세스를 제공합니다. 이 장비에는 자동 결함 검사 시스템 (automated defect inspection system), 온보드 모니터 (on-board monitor), 경보 장치 (alarm unit) 및 기판에서 필름을 제거하기위한 진공 장치 (vacuum unit) 와 같은 다양한 다른 기능도 포함됩니다. 자동 닫기 셔터도 포함됩니다. 또한, 자동화된 웨이퍼 조작을 위해 외부 웨이퍼 처리 로봇과 기계를 통합 할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 photolithography 프로세스를 위해 간단하고 비용 효율적인 솔루션으로 설계되었습니다. 사용하기 쉽고 우수한 결과를 통해 안정적인 성능을 제공합니다. 중소기업/중소기업/중소기업/중소기업/중소기업/중소기업/중소기업/중소기업/중견, 성장 기업/중견 기업을 대상으로 이 툴을
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