판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9159075
URL이 복사되었습니다!
ID: 9159075
웨이퍼 크기: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
(7) LHP
(3) CHP
(1) HHP
(5) CPL
(1) CWL
(2) TRS
(1) ADH.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 고해상도, 고정밀 마이크로 일렉트로닉스 제조를 위해 개발 된 고급 사진 분석 장비입니다. 이 시스템에는 강력한 옵틱, 스캐닝, 이미지 처리 기능이 있어, 사용자가 소형화 (microscopic) 기능과 매우 작은 구조의 장치를 생산할 수 있습니다. 장치는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 최대 파장 248nm의 엑시머 레이저 (excimer laser) 를 사용하여 포토리스 필름을 직접 이미지화합니다. 광저항 "필름 '은 비활성" 가스' 를 사용 하여 균등 하게 분산 되는 특수 "코우팅 챔버 '에서 제조 된다. 이것 을 통하여 "레이저 '는 소형 장치 를 만드는 데 필요 한 구조 를 정확 하게 형성 할 수 있다. 기계 의 광학 장치 는 "레이저 '광선 에 초점 을 맞추고 다시 초점 을 맞추는 일련의" 렌즈' 로 구성 되어 있다. "렌즈 '" 시스템' 은 세밀 한 세부점 을 제공 하기 위하여 극히 작은 공차 로 설계 되었다. 그들은 두 개의 개별 그룹으로 구성됩니다. 초기 이미징을위한 그룹 1 개와 기능 크기 발전을위한 초. 이들 "그룹 '에는 또한" 이미징' 의 질 을 잘 조정 하는 몇 가지 부가적 인 장치 가 있다. 레이저 빔을 정확하게 지시하기 위해, 전자적으로 제어 된 은하계 스캔 거울이 특징입니다. 이 도구를 사용하면 매우 작고 복잡한 마이크로 일렉트로닉 (microelectronics) 을 형성하기 위해 모든 각도를 빠르고 정확하게 스캔 할 수 있습니다. TEL ACT 8의 이미지 처리 능력은 매우 정확한 장치를 만드는 데 필수적입니다. 디지털 이미지 프로세서 (digital image processor) 는 불규칙성을 인식하고 정확한 적합성을 보장하기 위해 보상하기 위해 사용됩니다. 정확성과 품질 보장을 위해 나노 미터 (nanometer) 수준으로 기능을 감지 할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8에는 강력한 이미징 후 솔루션도 있습니다. 이미징 프로세스 이후, 장치의 성능을 더욱 향상시키기 위해 일련의 고급 (advanced) 처리가 수행됩니다. "가스 '처리 는 우수 한 접착 에 사용 될 수 있고" 알칼리' 처리 는 더 많은 전도성 에 사용 될 수 있다. 강력한 광학, 스캔 및 이미지 처리 능력을 갖춘 ACT 8은 마이크로 일렉트로닉 장치 제작에 귀중한 자산입니다. 고급 기능과 이미징 이후 (after-imaging) 솔루션을 사용하면 성능을 향상시키고 복잡한 기능을 통해 장치를 생성할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다