판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142708

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 (TEL/TE TEL ACT 8) 은 TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 노출 및 개발 프로세스 (Exposure and Development Process) 를 사용하여 고품질 집적회로를 제작할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 초고주파 스캐너 (Ultra-High-Frequency Scanner), 에너지 소스 (Energy Source) 및 기판 홀더를 포함한 일련의 물리적 구성 요소로 구성됩니다. 스캐너 (scanner) 는 특정 노출 파장의 고강도 광선을 기판 홀더에 정렬하고 지시하는 데 사용됩니다. 그런 다음 빛의 빔은 E-F-P (Electric-Field-Plasma) 컨트롤러에 의해 변조되어 포토 esist 레이어의 정확하고 반복 가능한 노출이 가능합니다. 기판 홀더는 노출 과정에서 기판 및 포토 esist 레이어를 유지하도록 설계되었습니다. E-F-P 컨트롤러로 인한 기판 가열 효과를 최소화하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 기계에는 긴급 상황 (Emergency Stop Switch) 과 같은 여러 안전 기능 (예: 비상 정지 스위치) 이 장착되어 있어, 운영자가 긴급 상황에서 프로세스를 자동으로 중지할 수 있습니다. TEL/TE TOKYO ELECTRON ACT 8 포토 esist 도구는 매우 정확하고 신뢰성이 높습니다. 그것 은 0.18 "미크론 '의 해상도 로, 0.25" 미크론' 의 크기 로 표준 세포 와 같은 비교적 큰 "패턴 '을 생산 할 수 있다. 이를 통해 회로의 고밀도 통합이 가능하며, 메모리, 마이크로프로세서와 같은 고급 제품에 적합합니다. 또한, 에셋의 픽셀-픽셀 왜곡 속도가 0.5% 로 매우 낮으므로 확장 된 기간 동안 패턴 정확도가 유지됩니다. 이 왜곡 속도는 도쿄 전자/TE ACT 8 (TOKYO ELECTRON/TE ACT 8) 이 동일한 패턴으로 다중 노출을 프로그래밍하는 능력에 의해 더욱 향상됩니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON ACT 8은 회로의 정확한 패턴화 및 고밀도 통합을 제공하는 매우 신뢰할 수있는 포토 esist 모델입니다. 이 기능에는 E-F-P 컨트롤러를 통한 광원 변조, 최소 기판 가열 및 낮은 픽셀-픽셀 왜곡 속도가 포함됩니다. 이 장비는 고급 집적회로 제작을 위한 탁월한 선택입니다.