판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142707
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 업계의 사진 (photolithography) 과 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 사용되는 고도의 다목적 시스템이다. TEL ACT 8은 여러 구성 요소로 구성됩니다. 여기에는 고품질 균일 스캐너, 완전하게 자동화 된 포토 esist 관리 장치 및 고급 웨이퍼 처리 챔버 (wafer processing chamber) 가 포함됩니다. 스캐너는 높은 수준의 정확도로 웨이퍼에 이미지를 패턴화하는 데 사용됩니다. 0.25 "미크론 '의 스캔 해상도 를 달성 할 수 있는데, 이것 은 광범위 한 전자 기기 에 적합 하다. TOKYO ELECTRON ACT 8의 자동 포토레스 관리 머신 (photoresist management machine) 은 photolithography 및 lithography 프로세스 전체에서 일관된 품질과 정확성을 보장하기 위해 사용됩니다. 이 도구는 각 웨이퍼에 대한 포토레지스트 사용을 추적, 모니터링하는 정밀 기반 소프트웨어 (precision-based software) 패키지를 갖추고 있습니다. 또한, 이 자산은 불필요한 청소 및 유지보수 (maintenance) 를 줄일 수 있도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8의 고급 웨이퍼 처리 챔버는 일관되고 반복 가능한 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 개선 된 열 제어 모델, 공기 흐름 역학 및 진동 제어 기술이 장착되어 있습니다. 매우 강력하고 고급 석판화 응용 프로그램을 빠른 속도로 제공 할 수 있습니다. ACT 8에는 전체 프로세스를 제어하기위한 고급 소프트웨어 패키지도 있습니다. 이 패키지는 스캐너를 웨이퍼 처리 챔버와 동기화하여 효율적이고 정확한 리소그래피 (lithography) 를 가능하게 합니다. 또한, 이 장비는 웨이퍼 패턴을 직접 조작 할 수있는 혁신적인 "직접 쓰기 (direct-write)" 기능도 제공합니다. 이것은 전통적인 리소그래피 방법에 비해 우수한 결과를 얻는 데 도움이됩니다. 전반적으로 ACT 8은 까다로운 photolithography 및 lithography 응용 프로그램을위한 고도로 발전된 photoresist 시스템입니다. 고품질· 정확한 전자장치를 생산하고자 하는 반도체 (반도체) 업계의 기업에게 필수적인 도구다.
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