판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9122207
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
판매
ID: 9122207
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
(2) Coaters SOG system, 8"
Wafer type: Notch
Signal tower: ETC (3-lamp)
Main controller version: Version #2
Software version: N/A
Inline: No
DUV (chemical filter): No
Manual operation: No
Cassette block: Normal type (TEL STD)
Process block: Single block
SOG Coater: 2-3, 2-4
High hot plate (HHP): 2-13, 2-14, 2-21, 2-23, 2-24
Low hot plate (LHP): 2-11, 2-21, 2-12
Chill plate (CPL): 2-5, 2-9, 2-15, 2-17
Transition stage (TRS): 2-8/2-7 TCP
Thinner chemical supply: CCSS (2 buffer tank)
(1) AC Power box
(1) Cup temp/humi: ESA-2S-T-01
(1) Temperature controller: INR-211T-24 (2) pumps, (4) CPL
(1) Chemical cabinet
Missing / Damaged parts:
LCD
DC Power supply
2001 vintage.
텔/도쿄 전자 ACT 8 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8) 은 광석기 시스템에 사용할 수 있도록 고급 기술을 통합 한 포토 esist 장비 유형입니다. 포토레스 시스템은 웨이퍼 (wafer), 디지털 카메라 렌즈 (camera lenses) 와 같은 기판에 미세 구조를 만드는 데 중요합니다. 이 포토 리토 그래피 (photolithography) 단위는 극도의 정밀도로 웨이퍼 또는 렌즈에 이러한 미세 구조를 형성 할 수있다. TEL ACT 8은 몇 가지 중요한 구성 요소로 구성됩니다. 제어 기계는 강력한 PLC (programmable logic controller) 기술의 사용을 통합합니다. 이것 은 "포토레지스트 '를 적용 하는 데 필요 한 장비 의 연산 순서 를 조절 한다. 또한 포토 esist의 노출 수준을 모니터링합니다. 사용 된 자동화 (automation) 기술은 매우 정확하며 관련 프로세스를 정확하게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT 8은 출력의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 내장 계산 기능을 갖추고 있습니다. 포토 esist 노출을위한 최대 192 단계 용량이 있습니다. 이를 통해 정확하고 신뢰할 수있는 photoresist의 사용자 지정 노출이 가능합니다. 또한 이 툴은 최대 8MB 의 스토리지 용량을 갖춘 다양한 메모리 모듈을 제공합니다. 따라서 데이터 노출 (Exposure Data) 및 기타 필요한 정보를 포괄적으로 저장할 수 있습니다. photoresist 시스템에는 Nikon/Vistion 독점 필름 측정 알고리즘이 추가로 장착되어 있습니다. 이 기능은 노출을 정확하게 측정하여 관련 프로세스의 전반적인 정확성을 향상시킵니다. TEL ACT 8에는 2 개의 16 비트 고속 프로세서가 장착 된 독특한 칩이 있습니다. 이렇게 하면 에셋의 기능이 향상되고, 칩의 성능을 안정성, 정확성 측면에서 최적화할 수 있습니다. 안전과 관련하여 TOKYO ELECTRON ACT 8에는 fail-safe 모델이 장착되어 있습니다. (PHP 3 = 3.0.6, PHP 4) 안전 기능 (Safety Feature) 은 운영 중 발생할 수 있는 심각한 문제나 장애의 가능성을 완화하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 ACT 8은 고급이지만 직관적인 사진 분석 장비입니다. 즉, 여러 컨텍스트에서 유연하게 사용할 수 있도록 하는 정밀도 (precision) 를 제공합니다. 통합된 고급 기술은 포토리스 (photoresist) 시스템의 정확성을 향상시켜 고품질 (high quality) 출력을 가능하게 합니다.
아직 리뷰가 없습니다