판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8은 박막 표면을 패턴화하는 포토 esist 장비입니다. 반도체 장치 제작의 연구 및 개발, 작은 기능 크기와 높은 수준의 반복 성을 가진 복잡한 나노 구조 (nanostructure) 의 생산을 위해 정밀 석판화 처리 (precision lithography processing) 를 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 8 인치 ACPL (Angle Compensated Projection Lithography) 장치가 장착되어 있으며, 패턴의 왜곡이나 변형없이 광범위한 기판 재료를 이미징할 수 있습니다. 고급 광학 기계 (Advanced Optical Machine) 는 특수 렌즈와 디지털 처리 알고리즘을 결합하여 다양한 구조적 패턴을 고해상도로 정확하게 투영합니다. 이 도구는 다국적 상호 운용성에 최적화된 플랫폼을 기반으로 구축되어 다양한 기판 받침대, 테스트 스탠드 (Test Stand) 장비, 로봇 시스템 등과 통합할 수 있습니다. 이 통합 자산은 마이크로 옵틱 (micro-optics), 마이크로 포토닉 장치 (micro-photonic devices), 패턴 (pattern) 과 같은 영역에서 나노미터 규모까지 정교한 고정밀 이미징 솔루션을 제공할 수 있습니다. TEL ACT 8은 또한 통합 현장 이미지 평가를 통해 프로세스 디버깅을 수행 할 수 있습니다. 패턴화에서 결과로의 피드백 루프 (feedback loop) 를 사용하면 패턴화 프로세스를 보다 신속하게 최적화할 수 있습니다. 잔류 저항층 및 기타 증착 물질의 제거는 습식 화학 기반 청소 모델 (wet chemical based cleaning model) 을 사용하여 달성된다. 이 장비에는 회색 음영 석판화 (grayscale lithography), 마스크없는 리소그래피 (maskless lithography) 및 방향성 선택적 노출 (directional selective exposure) 과 같은 고급 패턴 기술을 포함한 다양한 응용 프로그램 중심 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ACT 8은 소형 기능 크기의 고급 패턴화 기술을위한 고성능, 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템입니다. 이 장치의 통합된 설계와 향상된 어플리케이션은 사용자에게 높은 반복성, 유연성, 손쉬운 처리를 보장합니다.