판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9412735

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 제조를위한 고급 사진 석판 처리 기능을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 뛰어난 이미지 해상도와 균일성을 갖춘 고급 장치 (advanced device) 아키텍처를 정확하고 효율적으로 개발할 수 있습니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 고해상도 광학과 다중 이미징 모드를 활용하여 향상된 패턴과 이미지를 만드는 완전한 스텝 앤 스캔 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 텔 액트 (TEL ACT) 12 (TEL ACT 12) 에는 다양한 매개 변수가 있어 사용자가 다양한 프로세스에 걸쳐 정확한 요구 사항에 맞게 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. 전체 step-and-scan 이미징 자산은 사용 가능한 최고 이미지 해상도 이미지 (최대 0.18 미크론) 를 만들 수 있습니다. 이 모델에는 두 가지 이미징 모드, 전체 필드 이미징 (full field imaging) 및 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 이미징이 있습니다. 전체 필드 이미징 (full field imaging) 은 한 번의 노출로 전체 이미지를 생성하고, 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 이미징은 여러 번의 노출을 통해 더 높은 해상도의 이미지를 생성합니다. TOKYO ELECTRON ACT12는 사용자의 경험을 향상시키는 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 자동 웨이퍼 정렬 및 중심, 빔의 자동 초점, 저해상도 블랙 에지 방지 (low-k black edge prevention) 등이 있습니다. 자동 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 및 중심 장비 (centering equipment) 는 패턴 배치의 최고 정확도를 보장하는 반면 빔 초점 기능은 해상도와 줌 (zoom) 을 높입니다. 검은색 모서리 방지 기능 (black edge prevention feature) 은 노출된 포토레지스트의 모서리로부터의 회절로 인해 패턴 왜곡을 최소화합니다. TOKYO ELECTRON ACT 12의 사용자 인터페이스를 사용하면 시스템을 쉽게 탐색하고 제어할 수 있습니다. 직관적이고 사용자에게 친숙한 GUI 가 제공됩니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 전체 프로세스의 매개변수 (parameters) 를 조작하고 모니터링할 수 있으며, 데이터를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 완벽한 사용자 환경을 제공하기 위해 데이터 아카이빙 (data archiving) 및 검색 (retrieval) 머신이 장착되어 있습니다. TEL ACT12 (TEL ACT12) 는 최고 품질의 이미지를 제공하면서, 그 어느 때보다 더 빠르고 효율적으로 프로세스를 수행할 수 있도록 설계된 고효율적이고 고급적인 사진 촬영 도구입니다. 자산에 포함된 다양한 기능과 기능으로, 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 에 관여하는 사람들에게 신뢰할 수 있고 효과적인 도구입니다.