판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9384924

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 광원, 광 마스크 및 투영 광학의 조합으로 형성된 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 업계에서 집적회로 생산에 주로 사용되는 대규모 등록· 패터닝 (Registration· Patterning) 시스템이다. 이 장치는 광학 기계, 기판 테이블, 제어 도구 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 자산에는 두 가지 주요 구성 요소 (광원 모듈 및 투영 렌즈) 가 있습니다. 광원 모듈은 짧은 파장 엑시머 레이저, 가스 레이저, 조명 램프 (lumination lamp) 와 같은 소스로 구성됩니다. 광학 모델에 사용되는 투영 렌즈 (Projection Lenses) 는 패턴을 정밀도로 기판에 복사하기 위한 최고 품질의 이미지 포커싱 (Focusing) 을 제공하도록 설계되었습니다. 고정밀 5 축 기판 스테이지는 투영 렌즈 아래에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 5 축 (5-axis) 단계는 안정성이 높고 정밀도가 높아 가장 최근의 기술에서 해결할 수 있는 최소 패턴 (pattern) 기능을 지원합니다. 제어 장비는 Windows OS 플랫폼을 기반으로 하여 사용자에게 친숙한 작업을 수행할 수 있습니다. 여기에는 자동 정렬 기능과 기타 정교한 패턴화 제어 기능이 포함됩니다. 시스템을 사용하여 단일 photomask (사진 마스크) 를 사용하여 반복 패턴을 만들 수 있습니다. 대안 적으로, 이 장치는 더 복잡한 패턴을 위해 순서대로 조정 된 여러 개의 photomask를 사용할 수 있습니다. TEL ACT 12는 높은 처리량, 저렴한 가격, 신뢰성, 유지보수성을 갖춘 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 따라서 Dell은 설계를 물리적 장치로 변환하는 효율적이고 효과적인 툴을 제공할 수 있습니다. 이 기계는 RF 구성 요소, 박막 트랜지스터, 메모리 칩, 복잡한 프로세서 설계 등 다양한 구성 요소를 만드는 데 적합합니다. 최소 너비가 7nm까지 작아질 수 있으므로, 단일 다이 (single die) 에서 도식 및 마이크로 머신 (micromachined) 패턴이 필요한 컴포넌트 생성에 적합합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON ACT12는 고정밀 광학 구성 요소, 5 축 기판 단계 및 정교한 제어 자산으로 구성된 고급 photoresist 도구입니다. 우수한 성능과 고품질 (High Quality) 을 자랑하는 이 모델은 미니어처 (Miniature) 및 복잡한 패턴 (Pattern) 을 필요로 하는 컴포넌트 생산에 적합하므로 반도체 업계에 귀중한 도구입니다.