판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 고급 집적 회로 제작에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 광원, 광학, 스프레이 분배 시스템, 컨트롤러 및 소프트웨어로 구성되어 있습니다. 광원 은 광전자 물질 을 정확 하게 노출 시킨 다음 "스프레이 '분배 장치 에 의하여" 웨이퍼' 에 분배 된다. 컨트롤러와 소프트웨어는 기계에 대한 제어 및 감독을 제공하며, 노출 매개변수 (exposure parameters), 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램, 장비 진단 등의 프로그래밍을 활성화합니다. 광원은 stroboscopic 조명을 기반으로하며 전자 빔 다이오드를 특징으로합니다. 전자 빔은 빔 에미터, 렌즈, 마지막으로 슬릿 조리개를 통과합니다. 이를 통해 노출이 확대되고 균일 한 광원 분포가 달성됩니다. 광학은 웨이퍼에서 매우 균일 한 조명 패턴을 보장하도록 설계되었습니다. 광학에는 색상 필터와 조리개 마스크 (aperture mask) 가 포함되어 있으며, 이는 필드 깊이를 최적화하고 균일성을 향상시킵니다. 스프레이 분배 도구는 압력 펄스와 저전압, 고주파 생성 전기장의 조합을 사용합니다. 이것은 포토 esist 물질을 웨이퍼에 균일하고, 정확하고, 반복 가능한 커버리지를 가능하게한다. 컨트롤러와 소프트웨어는 에셋의 작동을 제어하며, 사용자가 노출 패턴 (exposure pattern) 을 설정하거나 전체 프로세스를 프로그래밍할 수 있도록 합니다. 또한 화면상의 진단 (On-Screen Diagnostics) 을 생성하여 모델과 컴포넌트의 조건에 대한 피드백 (Feedback) 과 결과 이미지의 분석 (Analysis) 을 제공합니다. 요약하면, TEL ACT 12 photoresist 장비는 복잡한 집적 회로를 제작하는 매우 정확하고 효율적인 방법입니다. 광원 (Light Source), 광학 (Optics), 스프레이 분배 시스템 (Spray Dispense System), 컨트롤러 (Controller) 및 소프트웨어 (Software) 를 결합하면 고품질의 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.