판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9315813

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 마이크로 칩 제조 공정에 사용되는 화학 물질을 처리하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 포토레시스트를 적용하기 위해 설계되었으며, 매우 정밀한 측정 및 제어 시스템이 특징입니다. 텔 액트 12 (TEL ACT 12) 는 기판 운송 시스템을 사용하여 기계식 픽업 도구를 사용하지 않고 반도체 웨이퍼를 장치 전체에 전송합니다. 이렇게 하면, 공정 을 더욱 정확 하게 제어 할 수 있으므로, 기계 를 통과 하는 모든 "웨이퍼 '에 대해 고품질 의 결과 를 얻을 수 있다. 포토레스 (photoresist) 도구는 여러 개의 별개의 모듈로 구성되며, 각 모듈은 웨이퍼 제조 공정의 다른 단계를 담당합니다. 가열 모듈 (heating module) 은 정확한 온도 및 시간에 웨이퍼를 가열하는 데 사용되며, 포토 esist를 균등하고 완전히 적용합니다. 또 다른 "모듈 '은" 포토레지스트' 를 적절 하게 개발 하기 위하여 개발자 의 화학 물질 을 혼합 하고 분배 하는 데 사용 되며, 극히 강력 한 화학 물질 과 관련 된 위험 이 매우 적게 되도록 하는 정밀 한 안전 조치 도 포함 된다. 에셋은 또한 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램 프로세스의 각 단계를 구성하는 데 사용되는 컨트롤 모듈을 특징으로합니다. 이 모듈을 통해, 주어진 레시피를 최적으로 구성할 수 있으며, 정확한 농도 수준, 분산 기간, 안전 모니터링 측정 (Safety Monitor Measure) 을 고객의 요구에 맞게 조정하고, 잘못된 용량이나 농도로 인해 위험한 상황이 발생하지 않도록 합니다. 또한, TOKYO ELECTRON ACT12 (TOKYO ELECTRON ACT12) 는 폐쇄 루프 모델로 설계되어 포토 esist 프로세스의 각 단계와 관련된 다양한 매개 변수를 실시간으로 모니터링 및 기록 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자에 대한 안전 검사 (Safety Check) 수단이 추가로 제공되므로, 장비의 불규칙성이 즉시 해결되는 동시에 웨이퍼에 대한 손상 가능성을 방지할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 매우 컴팩트하고 공간 효율이 높도록 설계되었으며, 다른 프로세스 또는 장비 세트에 대한 업무 중단을 최소화하면서 제한적인 지역에 이러한 여러 기계를 설치할 수 있습니다 (영문). 따라서 설치 공간을 절약하지 않고도 처리 능력을 극대화하고자 하는 고객에게 이상적인 옵션입니다 (영문). 이 외에도, ACT 12의 폐쇄 된 특성은 모든 프로세스가 면밀히 모니터링되어 외부 소스로부터의 무단 액세스 또는 간섭을 방지합니다.