판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290880

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 마이크로 가공을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고객이 정확도, 반복 가능성, 속도 등을 뛰어넘는 반도체 (semiconductor) 장치를 생산할 수 있게 해주는 첨단 포토 저항 (Photo Resist) 처리 기술입니다. UV 소스, 자동 노출 제어, 자동 정렬 장치 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. UV 소스는 UV 빛을 방출하는 고에너지 제논 아크 램프 (xenon arc lamp) 로, 포토 esist의 패턴을 노출시키는 데 사용됩니다. 방출 된 빛은 거울 렌즈를 통해 초점을 맞추고 웨이퍼로 향합니다. 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control) 는 광도를 모니터링하고 조정하여 일관된 노출을 보장합니다. 자동 정렬 기계는 고급 레이저 스캐너 (advanced laser scanner) 를 사용하여 photoresist의 패턴을 감지합니다. 그런 다음 스캐너 (scanner) 는 마스크를 기준으로 photoresist의 위치와 방향을 계산하고 정렬을 적절히 조정합니다. 이것은 photoresist에 노출 된 패턴이 정확하고 반복 가능하도록 보장합니다. 노출이 완료되면 포토 esist가 개발됩니다. "아세톤 '은 보통 감광술사 의 노출 된 부분 을 제거 하는 데 사용 되어" 패턴' 을 남긴다. 그런 다음, 이 패턴을 기판을 불러오는 템플릿으로 사용합니다. 텔 액트 12 (TEL ACT 12) 는 복잡한 기능 세트로 소형 장치를 처리 할 수있는 강력하고 정밀한 포토 esist 도구입니다. UV 소스 (UV Source), 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control), 자동 정렬 자산 (Automatic Alignment Asset) 과 같은 기능을 통해 고객은 탁월한 정확성과 반복성을 갖춘 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. 또한, 모델은 다양한 기판과 호환되며 저항합니다.