판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9255021
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ID: 9255021
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Coater / Developer system, 12"
(4) Load ports
(4) Spin modules
(22) Plates
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 사진 분석 및 에칭 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 주 로 인쇄 회로" 보드' 를 생산 하는 데 사용 되는데, 그것 은 기판 재료 의 매우 정확 한 무늬 를 가능 하게 하기 때문 이다. 이 장치는 photoresist 레이어, 접촉 마스크, 노출 장치 및 개발자 단위로 구성됩니다. photoresist 레이어는 빛이나 방사선이 상호 작용하는 요소입니다. 광저항 층 (photoresist layer) 은 방사선에 민감한 얇은 물질층이므로, 빛이나 방사선이 접촉 마스크를 통과할 때, 광저항 (photoresist) 과 반응하여 화학 변화를 일으킨다. 이 변환 은 방사선 의 "에너지 '수준 에 비유적 이므로, 여러 가지" 에너지' 수준 의 접촉 "마스크 '를 사용 하여 광저항 층 을 선택적 으로 제거 하고 변경 시킬 수 있다. 접촉 마스크 자체는 일반적으로 유리, 석영 또는 금속 기판으로 구성되며, 여기서 조사 된 이미지가 인쇄됩니다. 이것은 photoresist 레이어에 선택적으로 노출 된 영역을 생성하여 특정 패턴을 만들 수 있습니다. 접촉 마스크는 photoresist 레이어 바로 위에 배치됩니다. 노출 단위는 Contact Mask 가 배치되는 요소입니다. 이 장치는 포토 esist를 변경하는 데 필요한 방사선을 방출합니다. 사용 된 방사선의 종류와 설정에 따라, 다른 효과를 얻을 수 있습니다. 방사선은 생성 된 패턴의 정확도를 높일 수 있도록 다양합니다. 마지막으로 TEL ACT 12의 마지막 부분은 개발자 장치입니다. 방사선 노출이 완료된 후 사용됩니다. 개발자 단위는 포토레지스트 (photoresist) 레이어의 노출된 부분을 제거하고 노출되지 않은 부분을 그대로 두어 작동합니다. 이를 통해 기판 재료의 매우 정확한 패턴화가 가능합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON ACT12는 복잡하고 매우 정확한 포토 리토 그래피 머신으로, 기판에 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 특히 조정 된 방사선 "레벨 '과" 콘택트 마스크' 를 사용 함 으로써, 광저항 층 의 선택적 제거 와 변경 을 달성 할 수 있으며, 이것 을 통해 고도 로 복잡 한 인쇄 회로 "보드 '를 생산 할 수 있다.
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