판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251071

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 다양한 반도체 재료의 정확하고 통제 된 증착을 가능하게하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 증발 원, 비활성 가스 캐리어 유닛, 정교한 제어 장치로 구성됩니다. 증발원은 고효율 직류 (DC) 또는 대체 전류 (AC) 전원과 최대 2,300 그램의 재료를 담을 수있는 독특한 도가니 디자인으로 구성됩니다. 비활성 가스 캐리어 머신에는 두 가지 주요 구성 요소 (진공 어댑터 및 반 투과성 막이있는 캐리어 챔버) 가 포함됩니다. 진공 어댑터는 캐리어 챔버 (carrier chamber) 에 대한 연결 지점이 있으므로 정확한 수준의 비활성 가스 (inert gas) 를 도입 할 수 있습니다. 제어 장치에는 정확한 PID 자동 조정 도구, 동적 온도 지수 제어 (TIC), 실시간 로깅 자산 및 정확한 경보 모델과 같은 고급 기능이 있습니다. PID 자동 조정 (auto-tuning) 장비는 소스 챔버 온도를 모니터링하여 몇 분 안에 원하는 수준에 도달하도록 합니다. TIC 시스템은 다양한 온도에서 정확하고 반복 가능한 증착을 허용합니다. 실시간 로깅 장치는 각 실험 중에 데이터를 기록하며, 현장/원격으로 데이터를 사용할 수 있습니다. 정확한 알람 머신 (alarm machine) 은 프로세스 중에 발생할 수 있는 불규칙성을 모니터링하고 신호를 보내며, 사용자가 손상이 발생하기 전에 수정 조치를 취할 수 있도록 합니다. 전체 도구는 가볍고 효율적이며, 무게는 20 킬로그램 (약 240V) 에 불과하며, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 유독 물질을 수집하고 제거하기위한 통합 배기 (exhaust) 수집기가 있습니다. 또한, 에셋은 구성 가능하며, 사용자 정의 매개변수 및 레시피 설정을 각 증착에 맞게 프로그래밍 및 최적화 할 수 있습니다. 따라서 TEL ACT 12는 다양한 반도체의 정확하고 통제 된 증착을위한 이상적인 솔루션으로, 사용자는 업계 표준과 동등한 수준의 수익률과 품질 수준을 달성 할 수 있습니다.