판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9250635

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 고급 기술을 사용하여 반도체 집적 회로에 고품질의 석판화 (lithographically product) 박막 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 보통 고급" 포토리토그래피' 장치 로도 알려져 있는데, 아주 빠른 속도 로 작은 "패턴 '을 생산 할 수 있도록 설계 되었다. 이 기계는 광방출 효율을 높이기 위해 온도가 매우 낮게 냉각되는 고급 광방출 장치 (advanced photoemitter) 를 사용합니다. 이러 한 광방출 장치 는 자외선 이나 기타 광선 으로 "웨이퍼 '층 을 비추는 데 사용 될 수 있으며, 그 다음 에" 웨이퍼' 에 화학 물질 을 입힌 "코우팅 '과 반응 한다. 광선은 고출력 레이저 다이오드 (laser diode) 의 도움으로 생산되며, 출력은 고급 광학의 도움으로 제어된다. 포토 에미터는 또한 매우 단단한 포커싱을 허용하며, 이를 통해 적절한 마스킹 (masking) 기술과 결합 할 때 매우 작은 피쳐 크기를 달성 할 수 있습니다. TEL ACT 12 도구는 또한 우수한 재료와 전문 지식으로 제조 된 고급 고품질 렌즈를 사용합니다. 이러 한 "렌즈 '는 매우 정밀 한 영상 을 가능 케 하는 방법 으로 설계 되었는데, 이것 은 복합" 마이크로피처' 의 생산 에 중요 하다. 또한 "렌즈 '는 광학" 왜곡' 이나 유령 "이미지 '를 일으키지 않고도 매우 넓은 시야 와 매우 긴 작업 거리 를 허용 한다. 이 외에도, 자산은 고급 습식 (advanced wet) 또는 건식 리소그래피 (dry lithography) 공정과 함께 사용될 수 있으며, 이를 통해 더 작은 피쳐 크기를 생성 할 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '에" 패턴' 을 효과적 으로 전달 하기 위하여 혁신적 인 저항력, 광자유주의 "슬러리 ', 화학 치료법 및 기타 기술 을 혼합 하여 사용 함 으로써 달성 된다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON ACT12 모델은 매우 안정적이고 정확하며, 고급 서브 시스템을 사용하여 안정적으로 다른 웨이퍼 위에 패턴을 정확하게 반복 할 수 있습니다. 이것은 고급 광학 장치 (advanced optics) 및 기타 기능의 사용과 함께, 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 를 만드는 데 가장 적합한 고급 사진 분석 시스템 중 하나입니다.