판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244893

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9244893
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
System, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 TEL이 반도체 및 평면 패널 디스플레이 생산을 위해 개발 한 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술을 활용하여 사진 해설을 통해 매우 정밀한 에칭 (etching) 과 패턴화 된 증착을 가능하게합니다. 이 장치는 전원 공급 장치, 스테퍼 모터, 노출 광원, 패턴 증착 프로세스 모듈 등 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 전원 공급 장치 는 "컴퓨터 '에 정밀 하고 안정 된 전력 을 공급 하는 작업 을 수행 한다. 이 전원은 스테퍼 모터에 전원을 공급하고 광원을 노출시키는 데 사용됩니다. 스테퍼 모터가 회전하고 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 배치합니다. 여기에는 대상 기판으로 전달할 패턴이 포함됩니다. 노출 광원 (Exposure Light Source) 은 기판에 포토리스 스트 레이어를 노출시키는 데 사용되는 매우 정확한 방사선 공급원으로, 결과적으로 원하는 패턴을 만듭니다. 패턴화 된 증착 프로세스 모듈 (patterned deposition process module) 은 증착률 (deposition rate) 을 즉각적이고 정확하게 제어하여 제품의 실제 재료를 증착할 수 있도록 하는 공구의 컴포넌트입니다. 이 자산은 정밀 모터 (precision motor) 와 고급 정렬 및 제어 알고리즘 (Advanced Alignment and Control Algorithm) 덕분에 매우 정밀하게 패턴 및 기판 기능을 다시 만들 수 있습니다. 모델의 동작 제어 정확도는 10-40 나노 미터 범위 내에 있습니다. 또한 TEL ACT 12는 내장 데이터 관리 기능으로 설계되었습니다. 이를 통해 패턴화 된 증착 (patterned deposition) 에 관한 실제 데이터를 기록하고 분석하여 각 프로덕션 실행 시 품질 (Quality product) 을 보장할 수 있습니다. 이 장비는 실제 운영 데이터 (Production Data) 와 평가판 (Trial and Error) 을 분석하여 가장 최적의 프로세스 매개변수를 설정할 수 있습니다. 이 "시스템 '은" 오차' 의 정도 로 정밀 함 이 낭비 된 제품 의 재난 을 의미 할 수 있는 대규모 생산 에 필수적 이다. TOKYO ELECTRON ACT12 (TOKYO ELECTRON ACT12) 의 고급 기능은 생산과정에서 효율성과 품질이 우수함을 추구하는 기업에 이상적인 선택입니다.
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