판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9241966

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. Photoresist 시스템은 빛을 사용하여 실리콘 웨이퍼, 금속판, 유리 등의 표면에 이미지를 만듭니다. TEL ACT 12 시스템은 펄스 (pulsed) 및 연속 조명 방법을 조합하여 높은 충실도 이미지를 생성합니다. 이 장치는 0.9도 각도 정확도의 매우 정확한 120nm 해상도와 최소 약 900mW/cm2의 밝은 광원을 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON ACT12의 이미지 프로젝션 머신에는 멀티 포커스 조절 렌즈, X-Y 스테이지 및 2 개의 이미징 암이 포함됩니다. 이미징 암은 펄스 번개 (PL), 연속 번개 (CL) 및 일정한 전압 (CV) 을 포함하여 다양한 유형의 번개 조명을 제공 할 수 있습니다. PL 방법은 미리 결정된 펄스 너비 (pulse-width) 를 사용하여 photoresist를 원하는 광도에 노출시킵니다. CV (CV Method) 를 사용하면 가변 듀티 사이클 (Duty Cycle) 을 사용하여 투영된 광원의 전압을 제어할 수 있으므로 광도 및 해상도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT12의 단계에는 이중 축 동력 액츄에이터가 포함되어 있으며, 정확한 이미지를 생성하기 위해 웨이퍼 또는 기판을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 SmartRoute ™ 툴을 통해 손쉽고 효율적인 웨퍼 (wafer) 운송 및 포지셔닝을 수행할 수 있습니다. 에셋에는 이미지 제어 (정렬 및 초점) 를 지원하고 실시간 이미지 피드백을 기반으로 한 조정을 허용하는 비전 (vision) 모델도 포함되어 있습니다. 전반적으로, ACT12는 기질에서 고정밀 이미지 형성을 허용하는 포토 esist 장비입니다. 자동화 (automation) 와 고급 이미징 (advanced imaging) 시스템은 반도체 생산과 같은 산업에 이상적인 선택입니다. 조정 가능한 렌즈 시스템, 이중 축 동력 액츄에이터 및 SmartRoute (TM) 장치는이 기계가 정확한 이미지를 제어하고 형성하는 데 매우 유용하게 사용할 수있는 모든 유리한 기능입니다.