판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9237246

텔/도쿄 일렉트로닉 액트 12 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12) 는 나노 스케일 구조를 만들기 위해 이미징 및 패턴 화 기술을 활용하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 빔프로젝팅 광학 (beamprojecting optics) 을 사용하는데, 이는 대략 0.1 마이크로미터 너비의 집중 광선을 반도체 웨이퍼에 투영 할 수 있습니다. 이 빛 은 "나노스케일 '수준 의 구조 를 형성 할 수 있는 광저항 물질 에" 패턴' 을 집어 넣는 데 사용 된다. TEL ACT 12는 짧은 초점과 높은 광학 수치 조리개의 조합을 제공합니다. 이 장치는 또한 나노 스케일에서 패턴화를 위해 특허 출원 중인 레이저 라이트 이미징 프로세스를 사용합니다. 이 공정 은 "레이저 '광선 을 사용 하는데, 이 광선 은 초점 이 높고 발산 이 매우 낮아서" 나노미터' 척도 에서 예외 로 분해 된다. 이 기계는 또한 패턴 최적화를 위한 고급 편집 도구를 갖춘 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 를 제공하여 반도체 장치 생산을 크게 향상시킵니다. 이 플랫폼은 높은 정밀도로 패턴 최적화 (pattern optimization) 를 제공하여 칩의 정확한 사양에 따라 나노 스케일 (nanoscale) 구조를 구축 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT12 (TOKYO ELECTRON ACT12) 는 또한 고도로 고급 기판 정렬 에셋을 특징으로하며, 이 자산은 포토 esist 구조의 제어 배치에 대한 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 에 구조와 컴포넌트를 정확하게 배치하고 나노 스케일 (nanoscale) 구조의 정렬 또는 수차 오류를 줄일 수 있습니다. 이 모델에는 고급 이미징 장비도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ACT12에 사용되는 광학 시스템은 15 나노 미터 해상도로 이미지를 투영 할 수 있으며, 이를 통해 나노 스케일 구조 제작 프로세스를 모니터링 할 수 있습니다. 마지막으로 TEL ACT12는 안정적이고 반복 가능한 워크플로우 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 신뢰할 수 있는 테라프로 엔진 (Terapro Engine) 으로 구동되며, 전체 워크플로우 프로세스를 제어할 수 있습니다. 테라 프로 (Terapro) 엔진은 각 이미징 단계에서 정확하고 신뢰할 수있는 일련의 이벤트를 제공하여 일관성 있고 신뢰할 수있는 이미징 프로세스를 보장하여 생산 과정의 오류를 줄입니다.