판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235800

텔/도쿄 전자 ACT 12 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12) 는 기판 표면에 고급 패턴과 구조를 만드는 데 사용되도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 광전자는 방사선, 보통 빛 또는 자외선 (UV) 빛에 반응하여 반응하거나 변화하는 물질이며, 표면에 패턴 또는 구조를 만드는 데 사용될 수있다. TEL ACT 12는 사용자가 기판 표면에 생성된 패턴과 구조를 정확하게 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. "토오쿄오 일렉트로론 액트 '12 는 노출 장치 로 설계 되어 있으며, 스캐닝 (scanning) 노출 방법 을 가지고 있어서 광소시스트 (photoresist) 로 만든 패턴 과 구조 를 정확 하게 제어 할 수 있다. 여기에는 2 개의 전자 총이 있습니다. 하나는 포토 esist 용이고 다른 하나는 뒷면입니다. 총 을 사용 하여, 광전사 를 폭로 하는 데 사용 되는 방사선 의 용량 을 정확 하게 조정 할 수 있다. "뉴우요오크 '는 다음 과 같다. "포토레지스트 '의 노출 시간 은 또한 정확 한 용량 이 사용 되도록 조정 될 수 있다. 방사선 노출 조절의 정밀성 외에도 TEL ACT12 (TEL ACT12) 도 높은 처리량을 가지고 있습니다. 장치의 전자 총은 18 초 이내에 최대 40mm (1.6 인치) 의 기판을 스캔 할 수 있습니다. 즉, 기판의 넓은 영역은 프로세스의 정확성을 희생하지 않고 짧은 시간 (time) 으로 덮을 수 있습니다. ACT 12에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 누출 모니터 (leakage monitor) 는 기계가 오작동하고 높은 수준의 방사선을 방출하기 시작하면 기질을 보호 할 수있는 누출 방사선 (leaking radiation) 과 비상 셔터 (emergency shutter) 를 감지할 수 있습니다. 공구는 또한 공정에 의해 생성 된 폐기물의 양을 최소화하도록 설계되었습니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON ACT 12는 기판 표면에 대한 방사선 노출을 정확하게 제어하도록 설계된 photoresist 자산입니다. 이 모델은 2 개의 전자 총, 높은 처리량, 안전 기능 등을 통해 다양한 기판 및 패턴 적용 (patterning application) 에 적합합니다. 오늘날 시장에서 가장 정확하고 신뢰할 수있는 photoresist 시스템 중 하나입니다.