판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9224985

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 반도체 회로를 만드는 데 사용되는 고도로 특화된 도구입니다. 이 시스템은 특히 "양성 (positive)" 광 소스트 (photoresist) 라는 유형의 광 소제를 사용하는데, 이는 분자 구조를 변경하여 자외선 또는 가시광선 패턴에 반응한다. 변경된 분자는 패턴 된 표면 위에 극도로 얇은 보호 필름 층을 형성합니다. TEL ACT 12 장치는 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 첫째, 전용 마스크 정렬 기를 사용하여 포토 esist를 노출시킵니다. 이 장치에는 고정밀도 광학 장치 (optics) 가 장착되어 기판과 함께 포토마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 자외선 또는 가시 광선 빔을 생성하는 크세논 (xenon) 또는 크립톤 (Krypton) 램프로 구성된 마스크 조명기입니다. 응용에 따라, 광선 공구 (illumination tool) 는 넓거나 좁은 방사선 스펙트럼을 전달하도록 구성 될 수있다. 마지막으로, 자산에는 개발 챔버 (development chamber) 가 포함되어 있으며, 이는 노출 된 회로 패턴을 기판에 에칭하는 데 사용되는 공정 화학 물질을 수용합니다. TOKYO ELECTRON ACT12 모델은 광범위한 응용 분야에서 매우 정확한 패턴을 생성하는 데 뛰어납니다. 이 수준의 정확성을 달성하기 위해 장비에는 프로그래밍 가능한 줌 (zoom) 및 포커스 (focus), 기계적 백사이드 정렬, 내장 프로세스 모니터링 및 제어 기능과 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 또한 TEL은 "자동 조정 (Auto-Tune)" 버전의 ACT12 시스템을 출시하여 사용 중인 패턴과 기판을 기반으로 마스크 정렬기, 조명 장치, 개발 챔버 설정과 같은 특정 매개 변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 장치 및 회로에서 미세 패턴을 생산하기위한 고급적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 포토레스 (photoresist) 의 정밀 정렬 및 노출을 가능하게 하는 고급 (advanced) 기능을 갖추고 있으며, 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Auto-Tune (TOKYO ELECTRON Auto-Tune) 기능을 사용하면 다양한 애플리케이션에 대한 자산을 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다.