판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9195881

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9195881
(1) Coater / (2) Developers system.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 고급 포토 마스크 제작 및 박막 장치 제작 프로세스를 처리하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 고도로 자동화된 고정밀도 (high-precision) 시스템으로, 다양한 산업용 응용프로그램에 사용할 수 있는 박막 감광 소재를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 프로세스 제어 (Process Control) 와 처리 중인 재료에 대한 정확한 제어 측면에서 비용 효율적인 제조 옵션을 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 포토마스크 노출방법론 (photomask exposure methodology) 을 통해, 기계는 저항력이 다양한 감광 필름과 재료를 정확하게 패턴화하고 관리 할 수 있습니다. 저항력 의 변화 는 물론, 재료 의 민감도 를 변화 시키는 능력 으로, 자동화 된 "툴 '을 통하여 일관성 있고 정확 하게 처리 할 수 있다. TEL ACT 12 Asset은 또한 3 단계 개발주기를 특징으로하며, 이는 사용자 요구에 따라 구성 될 수 있습니다. 이 주기에는 개발 전 프로세스, 노출 프로세스 및 개발 후 프로세스가 포함됩니다. 사전 개발 과정에서 사용자는 포토 마스크 및 노출 프로세스 매개 변수를 정의합니다. 노출되는 동안, photomask는 물질의 구성 적 photoresist에 노출된다; 마지막으로, 개발 후 과정에는 포토 esist의 노출 및 개발이 포함됩니다. 이 모델은 고정밀 검사 (High-Precision Inspection) 및 인라인 (In-Line) 프로세스 제어 도구를 통합하여 샘플 생산에 더 자세한 내용을 제공합니다. 이렇게 하면 선명하고 고해상도 패턴화를 통해 박막, 감광재에 대해 정교하고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장비에는 고급 분석 기능 (Advanced Analysis Function) 이 장착되어 있는데, 이 기능은 재료 매개변수를 정확하게 측정하고 패턴 필름의 오류 및 변형을 감지하는 데 사용할 수 있습니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON ACT12는 매우 자동화된, 비용 효율적인 시스템으로, 박막 감광 물질 생산에 사용될 수 있습니다. 이 "필름 '은 정확 한" 패터닝' 을 할 수 있으며, 높은 수준의 신뢰성 을 가진 정밀 하고 정교 한 "필름 '을 만드는 데 사용 할 수 있다.
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