판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9164111
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 ICC (Integrated Circuits), LCD (Liquid Crystal Displays) 및 LED (Light Emitting Diode) 와 같은 박막 전자 공학을 에치하고 개발하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 고속, 고정밀 광학 이미징 프로세스를 활용하여 동적 패턴과 구조를 만듭니다. 이 시스템은 가장 복잡한 디자인에서도 정확하고 반복 가능한 결과를 생성하는 강력한 석판화 (lithographer) 를 갖추고 있습니다. photoresist 장치는 특수 카메라, 2 개의 레이어 개발 챔버, 2 개의 프리 베이크 챔버, 스핀 코터 머신 및 회전 노출 챔버로 구성됩니다. 카메라 도구 (Camera Tool) 는 특수 렌즈를 사용하여 기판의 감광 재료를 캡처하고 디지털로 향상시킵니다. 그런 다음 이러한 이미지를 사용하여 밝은 패턴을 생성하여 원하는 디자인을 에치합니다. 두 층 개발 챔버는 포토 esist 재료를 적용하는 데 사용됩니다. 여기서 저항은 스핀 코팅 (spin-coating), 일렉트로 스프레이 (electro-spray) 또는 스크린 페인팅 (screen-painting) 방법을 사용하여 코팅의 두께와 짝수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 그런 다음, 감광제는 2 개의 프리 베이크 챔버에서 건조되며, 여기서 온도와 시간을 조정하여 최적의 필름 접착을 달성 할 수 있습니다. 그러면 회전 노출 챔버 (rotating exposure chamber) 는 카메라에 의해 생성 된 정확한 광학 패턴에 기판을 노출시킵니다. 이것이 완료되면, 기판은 처리를 위해 개발 챔버로 전달된다. 그런 다음, 액체 혹은 "가스 '목욕 을 사용 하여 광전자 를 제거 하고, 원하는 설계 만 기판 에 에칭 한다. 마지막 으로, 잔류 물 을 제거 하기 위한 청소 과정 이 뒤 를 이어서, 그 기판 을 사용 할 준비 가 되어 있다. TEL ACT 12 photoresist 자산은 에칭 전자 제품에 대해 정확하고 반복 가능한 제작 프로세스를 제공합니다. 이 모델은 수작업 방법과 관련된 많은 비용을 절감하고, 프로세스 일관성과 처리량을 대폭 향상시킵니다. 또한, 이 장비는 복잡하고 복잡한 설계를 처리할 때에도 안정적인 결과를 보장합니다.
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