판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9142703

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9142703
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 1999
(4) Coaters system, 12" 1999 vintage.
텔/도쿄 전자 ACT 12 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12) 는 패턴을 원하는 모양의 기판 또는 기판에 인쇄하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 두 가지 기술을 하나로 결합합니다. Photolithography는 가벼운 민감성 화학 물질을 사용하여 패턴을 기판에 인쇄 할 수있는 기술입니다. 이 기술을 통해 제조업체는 제품에 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. TEL ACT 12는이 포토 리토 그래피 프로세스를 진공 증착 시스템에 통합합니다. 단위는 광도, 파동 길이, 노출 시간 등의 노출 매개변수를 제어합니다. 조정 가능한 진공기는 정확한 노출을 위해 정확하게 제어 된 진공 환경을 생성합니다. 이 기계는 또한 지속적으로 정확한 물리적 패턴을 제공하기 위해 조종 된 포토 esist 재료 흐름을 특징으로합니다. 이 도구의 디자인에는 4 개의 통합 단계가 포함됩니다. 첫 번째 단계는 기판이 적재 된 곳입니다. 사용자는 지정된 크기 모양에 대해 미리 정의된 매개 변수를 입력할 수 있습니다. 다음 단계는 증착 단계입니다. 여기서 사진 저항 재료는 기판 위에 퍼져 있습니다. 세 번째 단계는 노출 단계입니다. 이 단계는 기판이 미리 정해진 광파장 (light wavelength) 과 강도 (intensity) 를 받는 단계입니다. 네 번째 단계는 개발 단계입니다. 여기서, 기질은 특정 영역의 포토 esist 물질을 제거하기 위해 개발 액체 (development liquid) 를 받는다. 또한 TOKYO ELECTRON ACT12는 매우 사용자 친화적입니다. 에셋에는 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 장치는 전체 프로세스를 모델 (model) 로 패키지화하여 개별 매개변수를 쉽게 제어하고 결과 차이를 신속하게 관찰합니다. 결과는 매우 효율적이고 안정적인 프로세스입니다. 전반적으로, ACT12는 정확한 노출 매개변수의 힘과 가장 복잡하고 섬세한 패턴을 생성 할 수있는 등각 코팅 (conformal coating) 을 결합한 신뢰할 수있는 포토 리토 그래피 (photolithography) 용 장비입니다. 또한, 사용자는 각 실행에 대해 일관된 패턴을 만들 수 있습니다. 이 신뢰할 수있는 프로세스는 TEL/TOKYO ELECTRON ACT12를 안정적이고 정확한 사진 해설이 필요한 제조업체에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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