판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. Photoresist 시스템은 사진에 민감한 코팅을 반도체 웨이퍼에 적용하는 데 사용됩니다. 그러한 "시스템 '을 사용 하는 목표 는 전기 및 기타 특성 을 제어 하기 위하여" 웨이퍼' 에 "패턴 '을 만드는 것 이다. TEL ACT 12는 고급 반도체 제작을 위해 특별히 설계된 최적화 된 포토 esist 시스템입니다. 내장 프로젝터, 듀얼 포커스 스팟, 바스켓 스타일의 언로드/로드 스테이션을 갖춘 고급 도구입니다. 고객 요구 사항에 따라, 이 장치를 프로그래밍하여 하위 해상도 기능이 있는 패턴 레이어를 0.35 µm까지 전달할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT12에는 이중 레벨 12 인치 외부 카세트가 장착되어 있어 처리 중에 웨이퍼가 단단히 고정되어 있습니다. 투사 노출 기계는 넓은 노출 영역에 걸쳐 매우 정확한 이미지를 제공합니다. 프로젝터에는 자동 정렬 도구와 연결된 레이저 간섭계 (laser-interferometer) 가 장착되어 있어 정확한 투영이 가능합니다. 수학적 알고리즘을 기반으로 최적화된 이중 초점 (dual-focus spot) 은 투사된 이미지의 정확성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한이 자산에는 통합 중복 모델도 있습니다. 이를 통해 장비 장애의 경우 안전 (Safely) 이 실패하고 웨이퍼가 손상되지 않습니다. 이 시스템에는 또한 저진동, 최고 수준의 컨베이어 장치 (Conveyor Unit) 가 포함되어 있어 처리 중 진동을 최소화하여 웨이퍼에 대한 손상을 줄입니다. 마지막으로 ACT 12는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스로 설계되었습니다. 이것은 머신 설정 및 패턴 생성을 쉽고 빠르게 만들기 위한 것입니다. 또한 이 도구는 자산 성능을 지속적으로 모니터링하고 모든 이상에 대한 자세한 피드백을 제공하는 내장형 모니터 (Embedded Monitor Module) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ACT 12는 고급 반도체 제조에 사용하기 위해 특별히 설계된 강력한 포토 esist 모델입니다. 자동 정렬 (auto-alignment), 듀얼 포커스 스팟 (dual focus spot) 및 장비 이중화 시스템 (equipment redundancy system) 과 같은 기능을 통합하여 반도체 웨이퍼에 복잡한 패턴을 만드는 데 매우 정밀하고 안정성을 제공합니다.