판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112795

ID: 9112795
웨이퍼 크기: 8"
CRA Cassette Block Robotics Arms, 8" Main Component Part Numbers: CRA X Assembly Part No: CT2987-455715-W1 CRA 8" Fork Conversion Assembly Part No: CT2985-444227-W2 CRA Mapping LED Sensor Part No: CT2985-443032-W1 CRA Y Assembly Part No: CT2987-455713-W1 CRA Z Assembly Part No: CT2987-455716-W1 CRA Theta Assembly Part No: CT2987-455756-W1 CRA Electric Assembly Part No: CT2987-456574-W1 2987-455715-W1 ARM (ACT12 CRA-X-IPL) CT2980-193234-11 BLOCK,SLIDE NP8099D005-2 CT2980-193235-11 BASE,FORK NP8099D002-2 CT2980-193236-11 HOLDER NP8099D006-1 CT2980-193237-11 STAND (1) NP8099D003-1 CT2980-193238-11 STAND (2) NP8099D004-1 CT2980-193239-11 COLLER,PULLEY NP8099D009-0 CT2980-193240-11 NUT NP8099D010-0 CT2980-193241-11 BLOCK,TENSION NP8099D012-1 CT2980-193242-11 BRACKET NP8099D013-1 CT2980-193243-11 COLLER,IDLER NP8099D015-0 CT2980-193244-11 BLOCK,MAPPING NP8099D016-1 CT2980-193245-11 STOPPER,END NP8099D017-0 CT2980-193246-11 STOPPER NP8099D018-0 CT2980-193247-11 BLOCK,IDLER NP8099D019-1 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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 산업의 다양한 프로세스에 적합한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며, 기존 시스템에서 향상된 여러 가지 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. photoresist 시스템은 리소그래피 및 에칭 프로세스와 같은 photoresist 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장치는 렌즈 선택, 빔 블랭킹, a-Si/Gas 플라즈마 및 자동 프로세스 제어를 위해 최적화된 도구로 Optic Cross Scan을 선택할 수있는 최첨단 이미징 기계를 사용합니다. 에셋에는 통합 빔 블랭킹 (beam blanking) 옵션이 있으며, 이를 통해 한 번에 웨이퍼 (wafer) 의 단일 객체에 포토레지스트를 적용 할 수 있습니다. 한 단계에서 전체 웨이퍼에 포토레지스트가 적용되지 않기 때문에 다른 마스크 알리너 (Mask Aligner) 의 잠재적 인 교차 오염을 방지합니다. 이 모델은 또한 a-Si/Gas-plasma 프로세스를 사용하여 석판화 시스템에서 더 높은 수준의 성능을 가능하게합니다. 이 기능은 레이저 빔 직경 (laser beam diameter), 노출 시간 (exposure time) 및 레티클 크기 (reticle size) 를 보다 정확하게 제어하여 안정성과 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. 또한, 이 장비에는 고밀도 정의 측정 (High-Density Definition Measurement) 기술이 장착되어 계측 측정에서 뛰어난 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 이 기술은 프로세스 전반에 걸쳐 더 높은 수준의 정밀도 (예: 깊이 조절, 초점 모니터링) 에 기여합니다. 마지막으로, 시스템은 또한 스텝 (step) 및 반복 리소그래피 (repeat lithography) 와 같은 다양한 톱과 함께 사용하도록 설계된 Optical Cross Scan 기술을 가지고 있습니다. 이 장치는 실시간 이미지 전송 (image transfer) 과 더 빠른 제어 속도 (control 속도) 로 인해 처리량이 향상되고 생산량이 증가합니다. TEL ACT 12 포토레시스트 머신 (Photoresist Machine) 은 반도체 제조업체가 시장 요구를 충족하는 고품질 제품을 생산하기 위해 프로세스를 최적화하여 신뢰성을 고려합니다. 고성능 이미징 도구, 빔 블랭킹, a-Si/Gas 플라즈마 및 Optical Cross Scan과 함께 고밀도 정의 측정 (High-Density Definition Measurement) 기술을 통해 프로세스의 유연성과 정확성을 높일 수 있습니다.
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