판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112122
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ID: 9112122
웨이퍼 크기: 8"
Driver Control Assembly, 8"
Panasonic, P/N: MSD261Y22
Installed PCB Cards:
Power Supply PCB, P/N: 581B345E
Communication PCB, P/N: 581B357C
Z Driver Unit, P/N: MSD043A1Y03
Z Driver Comm PCB, P/N: 581B370B
Z Driver I/O PCB, P/N: 581B342G
X Driver Unit, P/N: MSD3AZA1Y03
X Driver Comm PCB, P/N: 581B343E
Driver I/O PCB, P/N: 581B342G.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 고급 반도체 장치 제작 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고속, 고해상도 마스크 리스 (high-resolution maskless) 정렬기를 사용하여 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist, 반사 레이어 및 기타 재료의 정확한 패턴을 제공합니다. TEL ACT 12의 중심에는 고속, 고해상도 마스크 없는 정렬기가 있습니다. 이 정렬 자는 객관적인 렌즈와 결합 된 통합 공간 광 변조기 (SLM) 를 특징으로하여 노출 해상도 0.8 (m) 이상의 photoresist 재료를 정확하게 패턴화합니다. SLM에는 수천 개의 개별적으로 주소 지정 가능한 반사 (reflective) 요소가 포함되어 있으며, 레이저 빔을 조정하여 이미지를 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. photoresist의 정확한 패턴화는 복잡한 다층 구조의 submicron 피쳐 정의를 허용합니다. "토오쿄오 일렉트로온 'ACT12 장치 에는 포토레지스트 층 의 균일 한 노출 을 보장 하기 위한" 웨이퍼 로더' 및 온도 조절 장치 도 갖추어져 있다. "웨이퍼 로우더 '는 전동" 컨베이어 벨트' 위 에 "웨이퍼 '를 들고" 알리너' 기계 에 정확 히 배치 한다. 온도 조절은 통합 냉각 장치 (integrated cooling unit) 를 사용하여 포토 esist가 노출을 위해 올바른 온도로 유지되도록 합니다. ACT12는 또한 핀홀, 스크래치, 공백 (void) 과 같은 포토 esist 레이어의 결함을 감지 할 수있는 자동 결함 검사 도구를 갖추고 있습니다. 이 도구의 고급 처리 알고리즘 (advanced processing algorithms) 은 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 분석하고 결함을 식별하여, 장치 제작 프로세스를 계속하기 전에 엔지니어가 신속하게 식별하고 해결할 수 있도록 합니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON ACT 12 자산은 반도체 장치 제조에 사용되는 다양한 포토 esist 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 직접 쓰기, step & repeat, step & scan 등 다양한 노출 프로세스와 호환됩니다. 이 모델은 MEMS 장치 (예: MEMS 장치) 와 같은 광범위한 장치 응용 프로그램에 사용될 수 있으며, 추가 장치 복잡성을 위해 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 와 같은 다른 시스템과 통합 될 수 있습니다.
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