판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112100

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 리소그래피에 사용되는 포토 esist 장비로, 다용도가 높고 신뢰할 수 있습니다. 시스템은 사용자에게 나노미터 범위 내에서 뛰어난 해상도와 안정성을 제공합니다. TEL ACT 12는 조절 가능한 스캔 속도 (scan-speed) 및 샷 투 샷 (shot-to-shot) 반복 가능성으로 웨이퍼 및 기타 기판에서 최고 품질의 표면 에칭 및 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 고품질 옵틱, 셔터 잠금 시스템, 플레어 (flare) 및 왜곡 (distortion) 을 줄이고 초점 해상도를 향상시키는 렌즈 요소로 구성됩니다. 광학은 기질의 안정적이고 균일 한 조명을 제공하여 정확한 리소그래피를 생성합니다. 또한, 사용자는 기판의 노출 패턴 (exposure pattern) 과 용량 (dose) 을 정확하게 제어 할 수 있도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ACT12는 또한 빠르고 신뢰할 수있는 통합 웨이퍼 로딩 및 언로드 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이를 통해 멀티 샷 리소그래피와 더 높은 처리량을 얻을 수 있습니다. 고급 이미징 도구 (Advanced Imaging Tool) 를 사용하면 다양한 노출 마스크를 선택하여 더 높은 패턴 충실도를 얻을 수 있습니다. 따라서 왜곡 없이 더 높은 정밀도 및 피쳐 크기를 만들 수 있습니다. 또한, 에셋에는 정확한 스테이지 및 드라이브 시스템뿐만 아니라, 탐색하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스도 포함됩니다. 스테이지는 X, Y, Z 축을 따라 일관되고 정확한 이동을 보장하며, 드라이브는 노출 시간과 출력 전력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하면 원하는 설정을 쉽게 선택하고 각 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 텔 액트 12 (TEL ACT12) 는 표면 에칭과 패턴을 올바르게 생성하는 데 필요한 시간과 노력을 줄이기 위해 설계되었습니다. 뛰어난 광학, 셔터 잠금 (shutter-lock) 모델, 렌즈 요소는 사용자에게 더 높은 수율로 정교한 패턴을 달성 할 수있는 기능을 제공합니다. 또한, 통합 웨이퍼 로드 및 언로드 메커니즘을 사용하면 더 빠르고 안정적인 멀티 샷 리소그래피를 사용할 수 있습니다. 고급 이미징 장비, 스테이지 및 드라이브 시스템을 갖춘 ACT 12는 효율적이고, 안정적이며, 정확한 포토레지스트 (photoresist) 시스템을 제공합니다.