판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9102945

텔/도쿄 일렉트로닉 액트 12 (TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12) 는 집적 회로 및 기타 전자 부품 생산에 반도체 및 박막 재료의 에칭 및 패턴화에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 원하는 모양으로 박막 (Thin-film) 재료를 정확하고 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 포토리토그래피 (photolithography) 공정에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었으며, 최소 기판 손상으로 고해상도 패턴을 생성할 수 있습니다. TEL ACT 12 장치는 광원, 렌즈, 조리개 및 스캐너를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 광원은 다중 파장 UV 광원으로, 기질의 균일 한 노출을위한 균일 한 광선을 생성합니다. "렌즈 '는 더 큰 시야 를 제공 하고 깨끗 한" 패턴' 실행 을 위한 해상도 를 향상 시키도록 설계 되었다. 조리개는 균일하고 정확한 패턴의 광원을 형성하는 데 사용됩니다. 스캐너는 또한 빠르고 정확한 패턴화를 위해 넓은 영역 스캐닝 (scanning) 필드를 제공하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON ACT12 기계의 기본 에칭 과정은 순차 패턴을 따릅니다. 첫째, 포토 esist는 기질로 회전합니다. 원하는 etch 패턴을 얻으려면 이 프로세스를 잘 제어해야 합니다. 이것은 포토레지스트의 점도, 스핀 속도, 온도를 적용하기 전에 조정하여 수행됩니다. 둘째, 기질은 UV 광원에 노출됩니다. 광선 은 "렌즈 '와 조리개 에 초점 을 맞추고 모양 을 이루어 정확 한 무늬 를 이루고 있다. 셋째, 포토 esist가 개발되고 원하는 모양으로 기판에 패턴화된다. 마지막으로 기판을 에칭하여 원하는 패턴을 만듭니다. ACT 12 도구는 신뢰할 수 있고 효율적인 산업 사진 분석 도구입니다. 정밀 패턴화 (precision patterning) 기능은 반도체 및 박막 부품을 효율적으로 생산할 수 있는 최고 수준의 품질 표준을 제공합니다. 또한, 대형 주사 장 (scanning field) 과 다중 파장 광원 (multi-wavength light source) 은 다양한 재료의 에칭 및 패턴화에 사용되는 이상적인 도구입니다. 전체적으로, TOKYO ELECTRON ACT 12 자산은 전자 산업의 집적 회로 및 기타 부품 에칭 및 패턴을위한 효과적인 포토 esist 모델입니다.