판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9088377
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ID: 9088377
Dual Block System
Paired with Nikon S204 Scanner
(4) Cassette Blocks
T&H Units & Filter Controller Units
AC Power Unit
(2) Chemical Cabinets.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 UV (Ultra Violet) 빛을 사용하여 photoresist 물질을 노출시켜 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 그런 다음 이 "패턴 '을" 실리콘 웨이퍼' 와 같은 기판 으로 에칭 하여 집적 회로 부품 과 장치 를 만들 수 있다. TEL ACT 12는 "5-in-1" 시스템으로, 5 개의 다른 구성 요소를 단일 단위로 포함합니다. 여기에는 스캐너, 수용자, UV 램프, 컨트롤러 및 CEU (Contact Exposure Unit) 가 포함됩니다. 스캐너 (scanner) 는 반복되는 패턴으로 포토 esist 물질 위로 이동하는 장치로, 분자를 UV 빛에 노출시킵니다. 수용체 (acceptor) 는 저항을 자외선 노출을위한 최적의 온도로 식히는 응축 단위이다. 세우 (CEU) 는 공기가 단단한 환경에서 저항과 광원을 보유하고있는 챔버 (chamber) 로, 노출 안정성을 통해 균일 한 결과를 생성합니다. UV 소스는 UV 스펙트럼, 특히 300-400 nm 파장 범위에서 방출되는 고출력 램프입니다. 이러 한 형태 의 빛 은 광전물질 (photoresist) 노출 에 필요 한데, 그것 이 분자 내 에서 화학 반응 을 일으키는 촉매 역할 을 하기 때문 이다. 컨트롤러가 전체 장치를 실행하고, 노출에 대한 모든 매개 변수가 충족되도록 합니다. TOKYO ELECTRON ACT12는 포토 esist를 자세히 노출 할 수 있습니다. 이 정밀도 는 "트랜지스터 '나" 커패시터' 와 같은 여러 가지 성분 을 "실리콘 웨이퍼 '에 복제 할 수 있는 복잡 한 패턴 을 만들어 낸다. 또한 0.5 도 (m) 의 얇은 필름을 노출시킬 수 있는데, 이는 생산 비용을 효과적으로 만들고 수율을 늘리는 데 필요합니다. 또한 ACT 12는 신뢰성이 높고 비용 효율적입니다. 더욱이, 이 제품은 사용자 친화적이며 매우 효과적이며, 마이크로칩 (microchip) 과 집적 회로 (integrated circuit) 를 생산하는 데 이상적입니다. 결론적으로, ACT12 기계는 마이크로 칩 및 기타 통합 부품 생산을위한 강력한 도구입니다. 다재다능성과 정확한 결과, 따라서 해당 응용 분야에 가장 적합한 선택이됩니다.
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