판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9042727

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 침수 형 챔버, 고온 베이킹 시스템, 자동 정렬 장치 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 장치는 스핀 코트 (Spin Coat), 베이크 (Bake), 프리 베이크 (Pre-bake) 및 개발 프로세스까지 다양한 포토 esist 프로세스를 관리하는 데 이상적입니다. TEL ACT 12 내의 챔버는 공압 작동, 폐쇄 루프, 침수 유형입니다. 압력 저항성이 있으며 포토 esist 처리를 위해 안전한 환경을 제공합니다. 또한 순환 노즐은 포토 esist 용액의 균등한 분포를 보장합니다. 이를 통해 기계적 교반이 필요하지 않습니다. 고온 베이킹 머신은 웨이퍼의 균일 한 가열을 제공합니다. 단일 히터로 구동되며, 프로그래밍 가능한 클러스터에 의해 제어되는 단일 단계, 열 영역 베이킹 (thermal zone baking) 을 사용합니다. 온도 설정은 photoresist의 다단 온도 구우기에 적합합니다. 자동 정렬기는 포토마스크를 적절한 위치에 맞게 빠르게 측정하고 정렬합니다. 정밀 모터로 구동되는 anauto-aligner가 장착되어 있습니다. 사용되는 와이드 필드 비전은 오류와 오정을 최소화합니다. 또한, 자동 웨이퍼 위치 제어를 사용하여 적절한 정렬이 이루어집니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON ACT12는 포토 esist 적용 프로세스에 적합합니다. 압력 내성 챔버는 안전한 저압 처리를 초래합니다. 또한 고온 베이킹 도구는 다단 온도 베이킹을 제공 할 수 있습니다. 마지막으로 자동 정렬기를 사용하면 빠르고 정확한 마스크 대 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 이 구성 요소들은 함께 이 포토레시스트 (photoresist) 자산을 민감한 반도체 제조 공정에 이상적인 선택으로 만듭니다.