판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293630206

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 다양한 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 다양한 중요한 사진 사진 촬영 단계를 처리하여 엔지니어가 10 나노미터 (10 나노미터) 정도의 고해상도 (high-resolution) 기능을 달성 할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 멀티 파워 소스를 갖추고 있어 오버레이 (overlay) 와 패턴 전송 (pattern transfer) 측면에서 유연성이 뛰어납니다. TEL ACT 12의 장치 아키텍처는 리소그래피 테이블, 광학 컴포넌트, 패턴화 기능 등 기존 장비를 최대한 활용하기 위해 만들어졌습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 엔지니어는 역방향 조사 (reverse-probing) 를 포함하여 전례없는 정밀도로 복잡한 전자 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다. TOKYO ELECTRON ACT12 (TOKYO ELECTRON ACT12) 는 또한 높은 속도와 정확도로 작동하는 안정적이고 강력한 모션 컨트롤 머신을 갖추고 있습니다. 이중 빔 스캐너 (Dual Beam Scanner) 는 정밀 다중 레이어 이미징을 가능하게하며, 아연 도금 스캐닝과 동력 화 (Motorized) 된 I-z 스테이지는 패턴의 최적 설계에 도움을 줄 수있는 넓은 조정 스와프를 제공합니다. 통합 제어 구성 요소는 자동화된 걱정 없는 작동과 정밀도를 제공합니다. 이 도구는 노출 주기 시간을 줄이고 처리량을 늘리도록 설계되었습니다. 또한, 이 자산은 강력한 정렬 및 최적화 기능을 제공하며, 뛰어난 결함 감지 기능을 제공하며, photoresist 취급 신뢰성을 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON ACT 12는 고객에게 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 반도체 및 전자 산업에서 매우 성공적이었으며, 탁월한 노출 균일성과 안정적이고 반복 가능한 노출 용량 제어를 제공합니다. 사용자는 신속한 투자 수익과 생산성 향상을 기대할 수 있습니다. 또한 이 장비는 더 높은 수율, 향상된 단계 범위, 일관된 wafer-to-wafer 성능을 보장하기 위해 제작되었습니다.