판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293610279

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12는 중요한 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 성능 수준 (Performance Level) 기능과 컴포넌트 (Component) 를 갖추고 있어 사용자가 고밀도, 고품질 인쇄 패턴을 생성할 수 있습니다. 이 장치는 정밀 정렬 단계, 자동 위치 지정 소프트웨어, 실시간 노출 제어 모듈의 조합으로 구성됩니다. 기계의 이중 플레이트 스테이지는 Z축을 기울이고, 회전하고, 조정할 수 있습니다. 정렬 단계에는 노출 필드의 크기와 위치를 정확하게 측정하기 위해 정밀 인코더 (precision encoder) 및 닫힌 루프 정렬 시스템 (closed-loop alignment system) 이 장착되어 있습니다. 자동 위치 지정 소프트웨어를 사용하면 복잡한 노출 패턴화를 위해 전체 도구를 구성할 수 있습니다. 에셋은 또한 다중 영역 노출 모드 (multi-zone exposure mode) 를 특징으로하며, 이는 다중 노출 영역을 정확하게 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모드는 기존의 단일 노출 (single singfosure) 기술보다 해상도가 높은 복잡한 노출 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 멀티 존 (multi-zone) 모드를 사용하여 패턴을 여러 노출 영역으로 나누어 특정 노출 패턴에 필요한 노출 시간을 줄일 수 있습니다. 이 모델에는 실시간 노출 제어 모듈 (Real-Time Exposure Control Module) 도 장착되어 있으며, 이 모듈은 노출 필드를 모니터링하고 노출 매개변수가 허용 가능한 범위 내에 유지되도록 합니다. 장비의 광 장치는 고강도 노출을 가능하게 하는 LED (LED) 기반 조사 시스템을 사용합니다. 이 장치는 대부분의 기존 노출 시스템보다 최대 200 배 더 밝은 노출 수준을 생성 할 수 있습니다. 이 기계에는 노출 제어 및 데이터 분석을위한 다양한 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다 (영문). 이러한 도구는 사용자가 노출 조건을 세밀하게 조정하고, 실제 노출 (exposure) 전에 발생할 수 있는 문제에 대한 노출 필드를 모니터링할 수 있는 기능을 제공합니다. 텔 액트 12 (TEL ACT 12) 는 인쇄 된 패턴에서 높은 수준의 정확성과 정밀도가 필요한 사람들을위한 고급 석판화 도구입니다. 자산의 여러 구성 요소 및 정밀 중심의 설계로 인해 고급 리소그래피 (lithography) 작업을 위한 실행 가능한 옵션이 됩니다.