판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON 2L80-004142-V1 #293772242

ID: 293772242
빈티지: 2020
RF Filter 2020 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON 2L80-004142-V1은 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비로, 기판에서 포토 esist 물질의 정확한 패턴화가 필요합니다. 이 첨단 시스템은 최첨단 기술 및 혁신적인 기능을 통합하여 사진 (photolithography) 프로세스에서 고성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. TEL 2L80-004142-V1 장치의 핵심은 포토 esist 물질의 증착 및 개발에 대한 비교할 수없는 제어를 제공하는 기능입니다. 이 기계는 고급 광학, 마이크로 리토 그래피 기술 (micrelithography techniety) 및 자동화 된 프로세스의 조합을 활용하여 패턴 전송에서 서브 미크론 수준의 해상도와 균일성을 달성합니다. 이 정밀도는 소형 피쳐 크기가 가장 중요한 제조 집적 회로, 평면 패널 디스플레이, MEMS 장치 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소에 필수적입니다. TOKYO ELECTRON 2L80-004142-V1 툴에는 여러 개의 서브시스템과 구성 요소가 장착되어 있어 뛰어난 성능을 제공합니다. 에셋에는 기판에 포토 esist 물질을 정확하게 분배하기위한 포토 esist 디스펜서, 포토 esist 층으로 기질의 균일 한 커버리지를 보장하기위한 코팅 모듈, 포토 esist 필름의 응용 후 치료를위한 베이크 스테이션 (bake station) 이 포함됩니다. 2L80-004142-V1 모델의 주요 기능 중 하나는 정확한 정렬 및 포지셔닝 기능입니다. 이 장비는 고급 정렬 센서 (Advanced Alignment Sensor) 와 알고리즘을 통합하여 노출 중에 마스크와 기판을 정확하게 정렬합니다. 이는 최소 오버레이 오류로 고해상도 패턴화를 달성하는 데 중요합니다. 또한, 시스템은 동적 초점 제어 (dynamic focus control) 메커니즘을 사용하여 전체 기판 표면에 걸쳐 최적의 초점 조건을 유지하고, 패턴 전송의 품질과 일관성을 더욱 향상시킵니다. 처리량 및 생산성 측면에서 TEL/TOKYO ELECTRON 2L80-004142-V1 장치는 정확성과 반복성에 영향을 미치지 않고 고속 작동을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 분배, 코팅, 노출, 개발 프로세스를위한 빠른 사이클 시간을 특징으로하며, 생산 환경에서 기판을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 로봇 처리 (robotic handling) 및 실시간 모니터링 (real-time monitor) 기능과 같은 고급 자동화 기능이 장착되어 있어 워크플로우를 간소화하고 운영자의 개입을 최소화할 수 있습니다. TEL 2L80-004142-V1 자산은 다양한 기판 크기와 재료를 수용할 수있는 다양성과 유연성을 특징으로합니다. 이 모델은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 유리 기판 (glass substrates), 유연 기판 (flexible substrate) 을 포함한 다양한 유형의 기판을 지원하며, 다양한 포토 esist 제형 및 프로세스 매개변수를 처리하는 유연성을 제공합니다. 이 다재다능한 장비는 R&D 프로토 타입에서 대용량 생산에 이르기까지 반도체 업계의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON 2L80-004142-V1 포토 esist 시스템은 포토 리토 그래피 장비의 기술 혁신의 정점을 나타냅니다. 최신 반도체 제조공정의 까다로운 요구사항을 충족하고 차세대 전자장치 개발에 기여할 수 있도록 "정밀 성능 (precision performance) '," 고생산성 (high productivity)', "다용도 (versitility) '라는 고급 기능을 갖추고 있다.
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