판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 반도체 석판화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정확한 광학 이미징 부품을 제공하여 반도체 회로의 일관된 마이크로 제작을 위해 전문 웨이퍼 코팅 (wafer coating) 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 마이크로패브라이션 (microfabrication) 의 중요한 단계에서 더 일관된 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 두 가지 주요 구성 요소 (주 구성 요소) 와 광학 이미징 도구 (Optical Imaging Tool) 가 있습니다. 기본 구성 요소는 빠르고 정확한 웨이퍼 코팅을 가능하게 하고, 광학 이미징 자산 (Optical Imaging Asset) 은 광학 특성을 제어하여 일관된 필름 커버리지를 보장합니다. 옵티컬 이미징 모델에는 세 가지 모듈이 있습니다. Light Source Module, Length Writing Module 및 Beam Control Module 입니다. 광원 모듈 (Light Source Module) 은 리소그래피 프로세스에 사용되는 광원을 생산하여 패턴 엔지니어링 기법에 맞게 광원 (light size) 영역을 확대하거나 축소하기 위해 정적 광원과 동력 조리개 제어를 제공합니다. 길이 작성 모듈 (Length Writing Module) 은 따라야 할 노출 패턴에 대한 정확한 설명을 제공하는 역할을 하며, 과다 노출 된 웨이퍼를 방지하기 위해 사용되며, 미세 튜닝 또는 교정의 필요성을 줄일 수 있습니다. 빔 제어 모듈 (Beam Control Module) 은 슬릿 너비와 빔 강도를 제어하여 패턴 깊이와 일치시키거나 최대 정확도로 광원의 초점을 확장합니다. 또한, 장비에는 프로세스의 정확도에 필수적인 노드 컴포넌트 (Node Component) 가 있습니다. 이 구성 요소를 사용하면 연산자가 시스템의 전원을 제어하고 장치의 상태를 모니터링하여 품질 (quality) 웨이퍼 (wafer) 를 생성할 수 있습니다. 마지막으로, 패턴 전송 장치 (Pattern Transfer Unit) 는 소스에서 패턴 다운로드 및 등록을 담당하는 컴포넌트로, 쉽게 노출될 수 있습니다. 전반적으로, TEL Lithius i + 는 반도체 장치의 제작에서 정확하고, 고품질의 결과를 얻기 위해 광범위한 기능을 갖춘 뛰어난 포토 esist 머신입니다. 이 과정과의 통합을 통해 수작업 (manual intervention) 의 필요성은 줄어들고, 신뢰할 수 있는 부품은 웨이퍼 (wafer) 의 수율을 증가시킵니다. 이 툴은 이전에 상상할 수 없었던 제품 개발에 대한 정확성 수준을 제공합니다 (영문).