판매용 중고 TEL DUO #293670501

텔 듀오 (TEL DUO) 는 전자 및 광전자 부품 제조에 사용되는 광전자 재료의 장비입니다. 그것은 각각 다른 반응성 염료를 가진 2 개의 폴리머 층의 조합입니다. 이와 관련하여, 전체 시스템 재료는 총칭하여 '포토 esist' 로 알려져 있습니다. DUO는 TEL (Tokyo Electron) 에서 개발했으며 반도체 장치의 제조 공정에 사용됩니다. 그것 은 우월 한 화학 물질 과 환경 내성 으로 인하여 널리 사용 되고 있으며, 광도, 열, 부식 에 대한 광저항 역할 을 하는 능력 으로 사용 된다. TEL DUO 장치는 처음에 실리콘 기반 자외선 (UV) 포토 esist 레이어로 코팅 된 2 층 구조입니다. 그런 다음 이 층 을 감광 저항제 와 함께 적용 시킨다. 자외선 (UV light) 과 화학적 에칭 기법 (chemical etching technique) 에 노출되면 매우 얇은 광도 레이어가 매우 정밀하게 생성됩니다. DUO 머신의 두 번째 층은 UV- 노출 된 포토 esist 위에 코팅 된 양성 톤 포토 esist 층입니다. 이 레이어는 표준 UV 저항을 통해 달성할 수 있는 것보다 정밀도가 높은 광저항 (photo-resistance) 레이어에 패턴을 만드는 데 도움이 됩니다. TEL 듀오 (TEL DUO) 공정을 적용하면 자외선이 기판층 위에서 아래로 빛나고, 상단 포토 esist 레이어는 마스크를 통해 노출됩니다. 일단 노출 되면, 상단 층 은 화학 시약 을 사용 하여 "에치오프 '를 벗기고, 그 아래 에 무늬 가 있는 광저항 층 을 드러낸다. DUO 포토 esist 도구의 장점은 다양합니다. 이것 은 보다 우월 한 화학 물질 과 환경 내성 을 공급 할 뿐 아니라, 작고 복잡 한 전자 및 광전자 부품 의 "제조 '를 매우 정밀 하게 해준다. 더 나아가, 그 이중 보호 층 은 단지 한 층 (layer) 보다 훨씬 더 내구성 이 있으므로, 열악 한 상태 에 노출 되는 구성 요소 (component) 에 더 많은 수명 을 제공 한다. 마지막으로, TEL DUO 자산은 기존 석판화 시스템에서 쉽게 사용할 수 있으므로 반도체 장치 및 광전자 부품 제작에서 신속하게 구현 할 수 있습니다.