판매용 중고 TAKAGI / SANGYO VHM15LC11 #9394920

TAKAGI/SANGYO VHM15LC11은 미세 전자 및 광전자 부품 및 장치를 제조 할 수 있도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 패턴 링 챔버 (patterning chamber) 와 배달 시스템 (delivery system), 상하 코트 챔버 (top and bottom coat chamber), 조명 장치가 통합 된 에치 챔버 (etch chamber) 및 건조기로 구성됩니다. 패턴 링 챔버 (patterning chamber) 와 배달기 (delivery machine) 는 웨이퍼의 노출 된 저항 표면을 몰드 할 수있는 정확한 방법을 제공합니다. 이것은 기존의 광학 공정을 사용하여 빛과 패턴 코팅 (patterned coating) 을 추가함으로써 달성됩니다. 패턴은 전기적으로 유도 된 선의 형태와 미세 한 패턴으로 표현됩니다. 제공 도구 (Delivery Tool) 에는 패턴이 정확하게 정렬되고 정확하게 분산되도록 특별히 설계된 광학 자산이 있습니다. 상하 코트 챔버 (Top and bottom coat chamber) 는 웨이퍼 표면에 배치되는 미리 측정 된 포토 esist 재료 부피를 사용합니다. 상단 코트는 웨이퍼에 균일 한 접착을 보장하고, 하단 코트는 패턴화 (patterning quality) 를 향상시키기 위해 적용됩니다. 특수 설계 된 조명 모델 (lighting model) 은 사전 프로그래밍 된 명령에 따라 포토리스트 (photoresist) 를 노출시키고 웨이퍼 표면을 패턴화하는 데 사용됩니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 포토 esist 코팅 웨이퍼의 습식 에칭을 수행 할 수있는 능력을 제공합니다. 에치 (etch) 가 정확하게 패턴화되고 고품질 (high quality) 이 되도록 자동화된 장비가 마련되어 있습니다. 통합 조명 시스템 (Integrated Lighting System) 은 광학 밀도를 사용하여 패턴 에치를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 마지막으로, 건조기는 웨이퍼에서 과도한 포토 esist를 쉽게 제거하는 데 사용됩니다. 그것 은 난류 공기 흐름 을 이용 하여, 수분 을 남기지 않고, 모든 저항자 의 흔적 을 완전 히 기화 시킨다. 이렇게 하면 마무리 과정에서 발생할 수 있는 결함이 줄어듭니다. 전반적으로, TAKAGI VHM15LC11은 제조 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 부품과 함께 조작 할 때 인상적인 정밀도를 제공하는 고도로 고급 유닛입니다. 통합된 조명기와 결합된 자동화된 패턴화 (patterning) 및 에칭 (etching) 용량으로, 업계 표준의 최고를 충족할 수 있도록 구성 요소를 전문적으로 처리할 수 있습니다.