판매용 중고 SYSTEMATIX RA/PS-2014A #9103954

SYSTEMATIX RA/PS-2014A는 디지털 반도체 장치 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 정확도와 정밀도가 높은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 복잡한 회로 디자인을 패턴화하는 데 사용됩니다. 또한 Micromachining (MEMS) 및 Through-Silicon Vias (TSV) 에도 적용되어 있습니다. 이 시스템은 Windows 운영 체제로 구동되며 PC 플랫폼에서 실행됩니다. 기판을 이동하고 이미지 필드를 비출 때 더 나은 제어를 위해 3 축 전동식 스테이지 및 LED 조명이 장착되어 있습니다. 기계는 전체 웨이퍼에서 이미지의 균일성까지 이진 반톤 (half-tone) 방법을 사용합니다. 여기에는 전동식 스테이지 및 이미지 필드의 현재 궤적을 정확하게 측정하는 내장 코브라 2 (COBRA 2) 컨트롤러가 있습니다. 이 소프트웨어는 네거티브 (negative) 및 포지티브 레지스트 (positive resist) 를 포함한 광범위한 포토 esist 재료의 처리를 지원합니다. 고급 사용자 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수를 최적화하고, 쉽게 자동화할 수 있습니다. 이 도구는 저항층 두께를 정확하게 제어하기 위해 초당 2 개의 데이터 업데이트가있는 자동 초점 (auto-focus) 옵션을 제공합니다. SYSTEMATIX RA/PS-2014A는 뛰어난 프로세스 균일성을 제공하며 생산 라인에서 정확한 회로 설계를 패턴화하는 데 탁월한 결과를 제공합니다. 빠른 웨이퍼 전송에 최적화되었으며, 메모리 버퍼 (memory buffer) 와 함께 제공되어 여러 사용자 간에 데이터를 공유할 수 있습니다. 통합 고급 정렬 에셋은 마이크론의 일부 내에서 정렬 정확도를 보장하므로 MEMS 다크 필드 이미징 (dark-field imaging) 에 적합합니다. 이 모델과 함께 다양한 액세서리를 사용할 수 있습니다 (예: 저항 스트리핑, 베이킹, 스핀 코팅, 도금 및 에칭). 이 모든 액세서리는 사용자 인터페이스에 잘 통합되어 전체 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 SYSTEMATIX RA/PS-2014A 포토 esist 장비는 반도체 장치 제조에 이상적인 도구입니다. 안정적이고, 정확하며, 효율적이며, 하나의 빠르고 쉬운 단계에서 복잡한 회로 설계를 신속하게 제작할 수 있습니다.