판매용 중고 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #9308724

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000
ID: 9308724
웨이퍼 크기: 8"
Spin coater system, 8".
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 포토 esist 장비는 SVS에서 설계 및 제조 한 업계 최고의 멀티 모드 포토 esist 처리 플랫폼입니다. 오늘날 포토레시스트 (photoresist) 프로세스 요구의 까다로운 과제를 위해 다양한 고급 기능을 제공합니다. SVS MSX-1000은 포토 esist 몰입 또는 스프레이 온 스프레이 온 큐어 어플리케이션에 탁월한 이점을 제공합니다. 혁신적인 분배 펌프는 다양한 포토 esist 처리 단계에 대해 보다 일관성 있고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한, "디스펜싱 '공정 을 수정 하여 광범위 한 양 을 전달 할 수 있으며, 완성 된" 포토레지스트' 필름 을 부가적 으로 제어 할 수 있다. 과학적 가치 솔루션 MSX1000은 초저속 교차 오염 시스템도 갖추고 있습니다. 이 장치는 고급 분리 장치 (Advanced Isolator) 기술을 사용하여 포토 esist 레시피 간의 교차 오염을 방지하고 최고 수준의 순도를 보장합니다. 모듈 식 화학 처리 장치 (modular chemical handling machine) 는 더 큰 유연성을 제공하여 다양한 photoresist deposit thicknesses 및 line geometries에 적합합니다. MSX-1000은 대규모 프로세싱 환경에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 특정 프로세스 단계를 자동화하고, 처리량을 높이고, 잠재적 인 인간 오류를 최소화할 수 있는 기계식 암 (mechanical arm) 으로 설계되었습니다. 또한 포토 esist 프로세스에 대한 예측 열 특성을 제공하는 고급 자기 학습 알고리즘 (Advanced Self Learning Algorithm) 이 장착되어 있습니다. 따라서 프로세스는 항상 최고 성능으로 실행됩니다. 이 플랫폼은 최대 3 개의 photoresist 레시피를 동시에 처리 할 수 있으며, 최대 40 리터의 photoresist 용량을 제공합니다. 습식 벤치 디자인 사용 편의성 및 안전성 향상 (IMF) 으로 인해 시장에서 최고의 포토 esist 처리 플랫폼 중 하나이며, 가장 신뢰할 수있는 포토 esist 처리 시스템 중 하나입니다. SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 은 원격 프로세스 모니터링 및 입력 로그인을 지원하는 모니터링/제어 소프트웨어도 갖추고 있습니다. 또한 고급 데이터 로깅 (advanced data logging) 기능을 통해 운영자는 실시간 통계 추세 정보를 볼 수 있으며 포토리스 (photoresist) 프로세스 특성에 대한 다양한 세부 정보를 받을 수 있습니다. 전반적으로 SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000 포토레지스트 도구는 놀라운 정확성, 신뢰성 및 성능을 자랑하는 업계 최고의 포토레시스트 플랫폼입니다. 종합적인 기능 제품군은 포토레시스트 (photoresist) 프로세스에 대한 탁월한 다용도 및 제어 기능을 제공하여 대규모 어플리케이션에 이상적인 제품입니다.
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