판매용 중고 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293760261
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SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000은 공격적인 석판화 파인 라인 처리를 위해 특별히 설계된 포토 esist 노출 및 개발 장비입니다. 이 시스템은 양성 (Positive) 과 음성 (Negative Tone) 사진 저항 처리 모두에서 가장 좁은 기능 요구 사항에 대한 지속적인 프로세스 솔루션을 제공하기 위해 설계된 프로그래밍 가능한 자동 노출/개발 장치입니다. 이 장치는 정밀 선형 스테이지와 단축 서보 모터 (single-axis servo motor) 로 구성된 단일 메커니즘으로, 기계가 X축과 Z축을 따라 초당 최대 0.1mm 속도로 정확하게 움직일 수 있습니다. 노출 및 개발 헤드는 X, Y 및 Z에서 사용자가 정의 할 수있는 프로그래밍 가능한 모션 패턴이 가능하며 공간 해상도는 1jm/stepping입니다. SVS MSX-1000은 0.4 mm, 0.5 mm, 0.7 mm, 1 mm 및 1.2 m를 포함한 여러 해상도를 제공합니다. 이 도구는 또한 Brightfield, Darkfield, Edge Sharpening, Contrast 및 Resolution Enhancement를 포함한 다양한 노출 모드를 제공합니다. 또한 가변 반복 노출, 가변 다중 노출, 다중 레이어 노출, 2D/3D 오프셋 노출 및 동시 3 축 노출도 수행 할 수 있습니다. 또한 deep-UV, visible 및 infrared photoresist를 포함한 다양한 사진 저항 재료를 수용 할 수 있습니다. SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000 은 모든 노출 및 개발 매개변수를 포함하여 자산 설정을 손쉽게 관리, 저장, 다시 로드할 수 있는 편리한 제어 인터페이스를 제공합니다. 또한, MSX-1000의 서보 제어 모듈 구성은 기판 처리 및 온도 변화에 대한 정확한 정렬 및 보상을 제공합니다. 이 모델에는 다양한 현장 도량형 (in-situ metrology tooling) 및 검사 장비가 기본으로 제공되며, 이를 통해 사용자가 노출 과정에서 인쇄 위치와 필드 깊이를 모니터링할 수 있습니다. SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000은 우수한 프로파일 제어, CD (Low-Critical Dimension) 변형 및 뛰어난 인쇄성을 보장하므로 프로세스 정렬 및 기기 드리프트로 인한 비효율적인 반복을 방지합니다. 프로세스 효율성 및 신뢰성을 고려하여 설계되었으며, 제품 주기 (cycle time) 를 줄이는 데 소요되는 인건비와 비용을 최소화합니다. MSX1000 은 특징과 기능을 통해 석판화 (lithographic fine line) 인쇄에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
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