판매용 중고 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000-3C #9358813

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000-3C
ID: 9358813
Spin coaters.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000-3C 포토 esist 장비는 복잡한 리소그래피 프로세스를 관리하는 데 적합한 강력하고 안정적인 도구입니다. 대용량 운영 환경을 위한 매우 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다 (영문). SVS MSX-1000-3C는 고유 한 네거티브 톤, 원형 태양 광전기 (PV) 저항을 사용하여 제조업체가 네거티브 톤 광전사 프로세스의 뛰어난 해상도와 가벼운 안정성을 이용할 수 있습니다. 이 시스템에는 신뢰할 수있는 수준의 태양 광 탐지 및 고급 수준의 리소그래피 기능을 제공하는 3 소스 저항 탐지기 (three-source resist detector) 가 있습니다. 이 장치는 다양한 기판 크기와 두께를 처리할 수 있으며, 칩 (chip) 부품 및 장치의 대규모 볼륨 생산을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 과학적 가치 솔루션 MSX-1000-3C는 스캐닝 전자 빔 (SEB) 광 스캐너를 사용하여 음의 톤, 원형, PV 저항에 이미지 또는 패턴을 만듭니다. SEB 옵티컬 스캐너 (Optical Scanner) 는 다양한 기판 크기와 두께에 대해 빔 패턴, 스캐닝 속도, 노출 수준을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 MSX-1000-3C는 최대 해상도 25 미크론 (0.0881mm/인치) 의 고해상도 이미지를 만들 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 고급 웨이퍼 표면 분석 스위트 (advanced wafer surface analysis suite) 를 갖추고 있으며, 재료 결함 및 이상을 감지하는 데 사용할 수 있습니다. SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000-3C에는 강력한 기판 프로세서가 포함되어 있어 일관된 이미지 품질을 보장하는 고급 프로세스 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 프로세서는 최대 6개의 사전 설정 패턴과 3개의 기판 크기를 저장할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 시간 (time-to-exposure) 및 빠른 스캔 시간 및 광에너지 매핑 기능을 갖춘 적응형 노출 제어가 특징입니다. 또한, 프로세서는 고급 이미징 알고리즘 및 수학적 모델링을 사용하여 최적의 리소그래피 정확성을 보장합니다. 또한 SVS MSX-1000-3C 포토 esist 도구에는 리소그래피 프로세스를 자동화하는 강력한 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 사용자가 스캐닝 속도, 노출 수준, 이미지 품질, 노출 시간 등을 제어할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 간편한 탐색을 위한 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하며, 광범위한 유연한 프로그램 라이브러리를 제공합니다. 이러한 프로그램을 사용하면 프로세스 반복성과 견고성을 유지하면서 패턴을 빠르고 정확하게 설계, 분석할 수 있습니다. 마지막으로, SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000-3C 포토 esist 자산은 광범위한 진단 및 지원 도구를 제공합니다. 이 모델에는 시스템 상태를 모니터링하고 적절한 교정 (calibration) 조정을 수행하는 지능형 유지 관리 장비가 포함되어 있습니다. 또한, 아카이빙된 프로세스 데이터 및 수리를 위한 보안 액세스 소프트웨어 (Secure Access Software) 가 포함되어 있으며 포괄적인 기술 지원을 제공합니다. '보안 액세스 (Secure Access)' 소프트웨어는 모든 데이터를 안전하게 저장하고 백업하여 다운타임을 줄여줍니다.
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