판매용 중고 SVS MSX-1000 #9364566

SVS MSX-1000은 스웨덴 진공 시스템 (Swedish Vacuum Systems, SVS) 에서 개발 한 포토레스 장비로, 고급 진공 시스템, 이미징 기술 및 로봇 자동화를 포함한 다양한 혁신적인 기술을 통합합니다. 이 시스템은 다수의 상호 연결된 구성 요소를 하나의 통합 장치 (integrated unit) 에 결합하는 고급 진공 (vacuum) 기술을 기반으로 합니다. 고속 2 차원 이미징, 진공 추출, 진공 응용의 조합을 활용하여 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 기계는 고유한 반자동 (semi-automated) 프로세스를 사용하여 저항성 박막 (thin film) 및 MEMS 컴포넌트의 증착 및 개발에 따라 처리량을 높입니다. 기판과 패턴의 상세한 이미징을 통해 정확한 증착 (deposition) 과정을 보장하는 도구의 이미징 (imaging) 기술은 표준 광학 리소그래피 (optical lithography) 와 새로운 패턴화 기술을 모두 지원합니다. 최대 500mm2 크기의 이미징 기판을 사용할 수 있으며, 접촉 (Contact) 에서 익스트림 울트라 바이올렛 (Extreme Ultra-Violet) 까지 다양한 이미징 모드를 갖추고 있습니다. 에셋에는 액티브 백라이트 (active backlighting) 기능도 있으며, 이 기능을 사용하여 대비 이미징 및 백사이드 조명을 사용할 수 있습니다. 진공 모형은 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공하면서 물질과 액체를 빠르고, 정확하게 전달 할 수 있습니다. 다양한 구성 요소로는 부품 자동 전송을위한 로봇 암 (robotic arm), 박막 증착을위한 열 증발기 (thermal evaporator) 및 금속 증착을위한 스퍼터링 장비 (sputtering equips) 가 있습니다. SVS MSX 1000의 고급 기능 (advanced features) 의 결합 된 효과는 평면 화를위한 또는 후속 처리를 위해 보호 포토 esist 레이어의 정확하고 일관된 증착을 가능하게한다는 것입니다. 시스템의 이미징 (imaging) 및 증착 (deposition) 기능을 결합하여, 서브 미크론 수준까지 일관되게 고품질의 마이크로 스케일 패턴화를 갖춘 반복 가능한 피쳐를 만들 수 있습니다. 또한 MSX-1000 은 포괄적인 소프트웨어 지원 기능을 통해 증착 (deposition) 프로세스를 정확하게 제어하고 이미지 분석을 수행할 수 있습니다. 이렇게 하면 photoresist 레이어의 최적 준수 (Optoresist Layer) 와 적용된 이미지의 최대 해상도가 보장됩니다. MSX 1000 (MSX 1000) 은 보호 계층의 증착을 최적화하고 마이크로 스케일 패턴을 다양한 기판 및 재료에 정확하게 적용하도록 설계된 강력한 포토레지스트 (photoresist) 장치입니다. 첨단 진공 시스템 (advanced vacuum system), 이미징 기술 (imaging technology), 로봇 자동화 (robotics automation) 와 같은 광범위한 혁신적인 기능을 통해 다양한 산업 분야에 이상적인 선택이 가능합니다.