판매용 중고 SVG / RITE TRACK 8800/8836 #9217205

SVG / RITE TRACK 8800/8836
ID: 9217205
웨이퍼 크기: 6"
Track systems, 6" (3) Post exposure bakes.
SVG/RITE TRACK 8800/8836 장비는 반도체 제작 및 집적 회로 설계의 특정 목적을 위해 기판의 정확한 패턴을 위해 설계된 사진 저항 시스템입니다. 이 장치는 고도의 고급 알고리즘을 사용하며, 디지털 이미지 또는 컴퓨터 지원 디자인 (computer-aided design) 에서 복잡하고 정확한 마스크 패턴을 만들 수 있습니다. Photoresist (photolithographic materials) 는 원하는 패턴을 만들기 위해 주어진 기판에 높은 해상도로 적용됩니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 기계를 활용하여, 특수화 또는 커스텀 빌딩 기술이 필요 없이 포토레시스트 커버리지와 패턴을 정확하게 정의할 수 있습니다. SVG 8800/8836 도구는 설치, 사용자 친화적 인 두 개의 로봇 암을 장착하여 기판 표면을 따라 정확하고 일관된 노출 수준을 제공 할 수 있습니다. 이 기능은 저항을 적용할 때 정확한 타이밍 (timing) 을 필요로 하지 않으며, 높은 수준의 커버리지 제어를 허용합니다. 이 자산에 의해 활성화된 정밀도 제어 (precision control) 는 매우 정확한 저항의 범위와 패턴화 결과를 보장합니다. 또한, 이 모델은 고해상도 이미징을 통합하는 고급 실시간 비전 시스템을 사용합니다. 이러한 비전 시스템은 뛰어난 정확도로 기판 표면 피쳐를 식별할 수 있으며, 원하는 패턴을 나타내는 포토 마스크 (photomask) 를 빠르게 생성할 수 있습니다. 비전 장비 (vision equipment) 를 사용하여 사용자는 잘못된 인쇄 또는 불균일 한 커버리지 (non-uniform coverage) 를 두려워하지 않고 원하는 패턴이 기판으로 올바르게 전송되도록 할 수도 있습니다. SVRITE TRACK 8800/8836 시스템에는 다중 레이어 기능, 자동 끝점 감지, 이중 차량 제어 등의 기능도 포함되어 있습니다. 다중 레이어 (multiple layer) 기능을 통해 단위는 패턴화된 레이어 간에 빠르고 정확하게 전환할 수 있습니다. 자동 엔드포인트 검출은 시간이 지남에 따라 포토 esist 안정성을 추적하는 과정을 단순화합니다. 이중 차량 컨트롤은 사용자에게 추가 수준의 패턴 제어 (pattern control) 를 제공하여 원하는 경우 photoresist 레이어를 정확하게 적용할 수 있습니다. 전반적으로 RITE TRACK 8800/8836 머신은 반도체 제작 및 집적 회로 설계에 적합한 선택 사항입니다. 강력한 기능과 정확한 제어를 통해, 사용자는 각 용도로 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 패턴화를 보장하여, 이 툴을 피어 (peer) 중에서 선택할 수 있습니다.
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