판매용 중고 SVG / ASML 90S #9078048
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SVG/ASML 90S는 디스플레이, 반도체 회로, 트레이, 칩 홀더 등 다양한 전자 부품을 만드는 데 사용되는 포토 esist 장비 유형입니다. 이 시스템은 고도로 집중된 자외선에 노출되는 것을 포함하여 다양한 프로세스를 사용하여 실리콘 (silicon) 및 기타 반도체 기반 기판에 패턴과 구조를 만듭니다. 이 장치는 일반적으로 광원 (Light Source), 최대 4 개의 카메라, 미디어 공급 메커니즘 (Media Supply Mechanism) 및 기판을 지원하는 플랫폼을 포함하는 사진 리소그래피 (Photo Lithography) 장치를 사용합니다. 그 기판 은 광원 으로부터의 정확 하게 정해진 거리 로 "플랫폼 '에 배치 된다. 그 다음 에 "마스크 '가 노출 될 기질 의 영역 위 에 놓이게 되고, 기계 는" 마스크' 와 광원 을 기판 위 로 이동 시키고, 빛 의 강도 와 노출 시간 을 조절 하도록 작동 시킨다. 이어서, 자외선 (UV light) 은 마스크를 통해 기판에 집중되고, 기질에 적용 된 포토 esist 필름은 빛에 반응한다. 노출 시, 사진 저항은 용해성 (soluble) 에서 용해성 (insoluble) 으로 바뀌며, 원하는 구조에 따라 기질의 부분을 보호되지 않거나, 에칭되거나 보호되게한다. 이 과정은 여러 가지 마스크 (mask) 를 사용하여 여러 번 반복되어 기판에 원하는 피쳐를 생성합니다. 일단 "디자인 '에 따라 기판 이 노출 되고 에칭 되면," 솔벤트' 는 노출 되지 않은 "포토 레지스트 코우팅 '을 제거 하는 데 사용 되며, 그 기판 은 생산 과정 의 다음 단계 에 대비 된다. SVG 90S 는 매우 정확 한 도구 로서, 기판 에 있는 기능 을 "마이크로 미터 '수준 까지 정밀 하게 만들어 낼 수 있다. 전자제품의 생산에 활용해 생산과정에서 복잡성 (Complexity) 이 높아지고, 결과의 정밀도 (Precision) 가 높아졌다.
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