판매용 중고 SVG / ASML 90S #9077807

SVG/ASML 90S (Computer-controlled Photoresist Equipment) 는 접촉 인쇄를 사용하는 컴퓨터로, 패턴을 정확한 방식으로 실리콘 기판으로 전송하도록 설계되었습니다. 마이크로 일렉트로닉 회로의 생산에 사용됩니다. 이 시스템은 컴퓨터에 저장된 패턴 (pattern) 모양을 사용하며, 통합 광학 열에서 기판에 광학적으로 투영됩니다. 광학 열에는 초점 요소, 이미징 요소, 투영 요소 등 다양한 렌즈가 있습니다. "마스크 '는 회로" 패턴' 을 보관 하고 있는 광학 "열 '과 기판 사이 에 놓인다. 투영 "렌즈 '의 빛 은" 마스크' 를 통과 하여 기판 에 집중 된다. 빛이 마스크의 패턴을 통과하면, 포토리스 스트 코팅 된 기판 (photoresist-coated 기판) 에 집중됩니다. 사용 된 광전물질 (photoresist material) 의 종류에 따라, 광선에 노출되거나 빛에서 차단되어 광전자 (photoresist) 의 패턴을 결정합니다. SVG 90S 장치에는 원하는 설계를 기판에 정확하게 재현하는 패턴 생성기가 있습니다. 이 기계는 또한 가까운 격자 간섭계 (close lattice interferometer) 를 포함하며, 투영 된 빔과 반사 빔의 두 파면을 비교하여 초점을 측정하는 데 사용됩니다. 이 도구에는 스테이지 이동, 방향, Z축 위치 등의 정밀도를 설정하는 스테이지 제어 장치 (stage control unit) 도 포함되어 있습니다. 또한, 이 자산에는 레이저 스캐너 (laser scanner) 가 있으며, 이는 기판에 레이저 광을 집중시키고 그것을 사용하여 서브 미크론 정밀도로 스테이지의 위치를 조정합니다. 이렇게 하면, 투영된 패턴의 위치를 유지하기 위해 기판을 정확하게 이동할 수 있습니다. 그런 다음, 기질은 UV 광원으로 노출되고, 이것은 포토 esist를 노출시키는 데 사용된다. 그런 다음, 노출 된 포토 esist를 용매로 개발하고 제조업체의 지시에 따라 처리합니다. 결과는 기판의 회로 패턴으로, 치수가 정확하고 정확합니다. 이 모델에는 장비 성능을 모니터링하는 포스트 프로세스 (Post-process) 통합 도구 (Integration Tool) 가 있어 최대 용량으로 작동할 수 있습니다. ASML 90S는 프로세서, 마이크로컨트롤러, 메모리와 같은 초고밀도, 고품질 마이크로 부품 제조에 필수적입니다. 시중에서 가장 정확하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 시스템 중 하나입니다.