판매용 중고 SVG / AIO 86xx #9247857

SVG/AIO 86xx 시리즈는 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 SVG의 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 스캐닝 포토레시스트 (Scanning photoresist) 와 스프레이 헤드 (Spray head) 서브시스템을 모두 갖추고 있어 다양한 고급 프로세스 레벨에서 탁월한 결함 범위, 처리량 및 고수율 출력을 제공합니다. 이 장치는 다중 레벨 패턴화 (multi-level patterning), 4/4 미크론 (sub-quarter micron) 기능, 경유 및 상호 연결 형성 기능 등 다양한 프로세스에 적합합니다. 이 기계는 전체 영역 노출 (full-area exposure) 과 고밀도 (high precision) 기능을 빠르게 전환할 수 있습니다. 이 툴은 최대 4 개의 카세트 시스템 (Cassette System) 을 통해 수율과 성능을 유지하면서 빠른 속도로 처리할 수 있습니다. 에셋은 타이트한 프레임, 낮은 스트레이 라이트 조명, 낮은 그림자 및 높은 균일성을 특징으로합니다. 부분 그림자의 잠재력을 제거하고 에지 음성을 개선하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 빠르고 정밀한 평면 화 응용 및 고급 화학/기계 처리를 위해 4 개의 챔버 스핀 코터/개발자 장치가 장착되어 있습니다. 0.4 미크론 위치 정확도의 9 축 모서리 생성기 장비는 복잡한 필름 형성을 정확하게 제어하는 데 도움이됩니다. 이 시스템에는 빠르고 정확한 그림자가없는 리소그래피를 위해 출력 전력이 2KW 인 멀티 빔 레이저 이미징 장치 (multi-beam laser imaging unit) 도 포함되어 있습니다. 고급 정밀 광학 시스템은 처리량 향상을 위해 넓은 시야를 제공합니다. 광학 소프트웨어를 사용하면 photomask 정렬 및 변형 교정 (deformation correction) 을 동시에 제어할 수 있으므로 해상도와 처리량이 높은 구조가 잘 정의됩니다. 고급 도구 제어, 모니터링, 보고 기능은 프로세스 성능 및 전반적인 자산 신뢰성에 대한 피드백을 신속하게 제공하는 데 도움이 됩니다. 이 모델의 우수한 열 관리 기능은 고온 포토레시스트 (photoresist) 및 기타 화학을 처리 할 때 안정적인 작동 및 출력을 보장합니다. 전반적으로, SVG 86xx 시리즈는 고급 반도체 장치 생산 프로세스에 탁월한 수율 및 처리량을 제공하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 즉, 복잡한 패턴화를 완벽하게 제어하고, 정밀하게 처리하여 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.