판매용 중고 SVG 90SE #293664357

제조사
SVG
모델
90SE
ID: 293664357
웨이퍼 크기: 8"
Track system, 8".
SVG 90SE는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 고급 포토레스 장비입니다. 이 시스템은 레이저 라이트 (laser light) 와 고급 저항 재료 (advanced resist materials) 의 조합을 사용하여 반도체 기판에 매우 얇은 재료 층의 정확한 리소그래피 에칭을 가능하게합니다. 레이저 라이트는 3 축 스캐닝 유닛 (scanning unit) 의 형태로 제공되며, 기판에서 매우 정확한 3 차원 표면 세부 사항을 생성 할 수 있습니다. 90SE는 금속 접촉부 (Metal Contact) 와 메모리 칩 (Memory Chip), 그리고 접촉층 장치 격리 (Device Isolation) 및 계층 (Layer) 과 같은 매우 작은 컴포넌트의 제작에 이상적입니다. 이 기계는 또한 태양 광 및 MEMS 응용 프로그램을위한 접촉 개구부 (contact opening) 와 비아 (vias) 를 만드는 데 사용될 수 있습니다. SVG 90SE 도구의 주요 장점은 매우 정확한 패턴으로 매우 얇은 photoresist를 패턴화하는 기능입니다. 레이저 광이 3 차원 방향으로 스캔됨에 따라, 곡선 구조는 고해상도로 패턴 화 될 수있다. 또한, 자산은 넓은 영역에 걸쳐 빠르고 효율적으로 패턴을 만들 수 있습니다. 90SE 모델에 사용 된 저항 재료는 반도체 장치 용으로 전문화되어 설계되었습니다. "레지스트 '는 광선 의 흡수 가 낮기 때문 에 광선 을 더 정확 한 광역 을 지도 할 수 있도록 설계 되었다. 그 광선 은 광선 을 더 넓게 지도 할 수 있다. ··· 재료 의 내성 을 조정 하여 특정 한 "응용프로그램 '의 필요 를 더 잘 충족 시킬 수 있다. 또한 SVG 90SE 는 혁신적인 특성화 기술 및 프로세스 분석 소프트웨어 (process analysis software) 를 활용하여 모든 제조 구성요소가 필요한 사양에 부합하도록 합니다. 소프트웨어는 필요한 경우 제품 관련 문제를 해결할 수도 있습니다. 전체 90SE는 매우 다양한 포토리스 (photoresist) 장비로, 넓은 지역에 대해 매우 정확한 패턴을 빠르고 효율적으로 만들 수 있습니다. 이는 다양한 애플리케이션에서 반도체 디바이스를 제작하는 데 이상적인 선택입니다.
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