판매용 중고 SVG 90S #9383776
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ID: 9383776
(2) Coater / (2) / Developer system
FTC And Semilab unit
(2) Intelligent pumps missing.
SVG 90S는 마이크로칩 및 기타 반도체 장치를위한 서브 미크론 정밀 패턴을 만들기 위해 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 양성 (positive) 과 음성 (negative) 을 포함한 다양한 포토레지스트들과 함께 작업하도록 설계되었습니다. 따라서 다양한 작업에 사용될 수 있습니다. SVG 90-S 시스템은 저항재의 잔류 수분을 제거하기 위해 소프트 베이크 (soft bake) 로 시작하는 2 단계 프로세스입니다. 두 번째 단계 는 광물질 을 자외선 (UV light) 에 노출 시키는 것 으로, 물질 의 무늬 를 만들 수 있다. 노출 후, 노출 후 베이킹 프로세스 (post-exposure baking process) 를 사용하여 저항이 저항 필름에 올바르게 준수되도록 보장합니다. 90 S 유닛의 기본 해상도는 0.5 äm입니다. 이렇게 하면 매우 작은 피쳐의 정밀도 패턴화가 가능합니다. 또한 다양한 포토리스 연주자 (photoresist) 와 함께 작업 할 수 있으므로 매우 다재다능한 기계입니다. 또한 도구는 매우 안정적이며 일관된 결과를 생성합니다. 90S 자산에는 몇 가지 다른 고유 한 기능이 있습니다. 이러한 기능 중 하나는 오류를 감지하고 플래그하는 기능입니다. 이것 은 육안 으로 볼 수 없는 "포토레지스트 '무늬 의 결함 을 감지 할 수 있게 해 준다. 또한, 이 모델에는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하는 프로세스 모니터가 내장되어 있습니다. 따라서 photoresist 프로세스에서 각 단계의 진행 상황을 쉽게 추적할 수 있습니다. 또한 90-S 장비는 안전한 작업 환경을 유지하도록 설계되었습니다. 압력 센서, 최첨단 온도 조절, 비상 정지 (Emergency Stop) 와 같은 일련의 안전 측정이 특징입니다. 이러한 모든 기능을 통해 SVG 90 S는 반도체 제작을 위한 매우 유용하고 효율적인 도구입니다.
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