판매용 중고 SVG 90S #293814156

SVG 90S는 초고해상도 포토리토그래피 프로세스 개발을위한 최첨단 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 다른 photoresist 시스템에 비해 우수한 해상도 및 이미징 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 DUV (Deep-UV) 투영 리소그래피를 기반으로하며 6 인치 레티클 및 필름 단계를 사용합니다. SVG 90-S 포토 esist 유닛은 4 x 6 인치 필름 스테이지에 투영 된 6 인치 레티클 패턴을 사용합니다. 이것은 0.19 미크론까지 기능의 해상도를 허용합니다. 필름 스테이지에는 서브 미크론 스테이지 드라이브 (sub-micron stage drive) 와 스테이지 보정 머신 (stage correction machine) 이 장착되어 있어 필름을 레티클에 정확하고 반복적으로 정렬 할 수 있습니다. 또한, 축이 아닌 정렬 도구는 투영된 패턴이 지정된 패턴 범위 내에 유지되도록 합니다. 90 S의 투영 광학에는 다이아몬드 선반가공 (diamond-turning optics), 펄스 스트레처 (pulse stretcher) 및 곡면 동작 보정기 (curved motion compensator) 와 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. "다이아몬드 선회 광학 '은 광학적 수차를 줄이고, 최고 해상도 수준에서도 투영된 이미지가 명확하고 정확한지 확인한다. 펄스 스트레처 (pulse stretcher) 는 이미지 안정성과 대비를 최대화하는 데 도움이되며, 곡선 동작 보정기 (curved motion compensator) 는 투영 패턴이 필름 단계에 맞게 정렬되도록 합니다. 90S와 함께 사용되는 민감한 필름은 최적의 접착에 최적화되어 잔기와 잔해를 줄이기 위해 최적화되어 있습니다. 이 특수 사진 연주자는 다른 포토 esist 필름과 같은 스캔 오류로 고통받지 않습니다. 또한, 0.1 미크론 미만의 저항 두께는 높은 정밀도 기능을 생산할 수 있습니다. SVG 90 S 자산은 이더넷 또는 USB 통신을 통해 외부 컴퓨터에 의해 제어됩니다. 직관적 인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 가 장착되어 있으며 어레이 (Array) 와 오버레이 (Overlay) 옵션 등 다양한 도구와 기능을 제공하여 레티클 패턴 (Reticle Pattern) 을 최고 해상도로 설계 및 인쇄할 수 있습니다. 결론적으로 90-S는 매우 정교하고 고급 포토 esist 모델입니다. 이 제품은 다이아몬드 선반가공 (diamond-turning) 광학 장치, 펄스 들것기 (pulse stretcher) 및 곡면 동작 보정기 (curved motion compensator) 와 같은 기능을 통해 해상도 및 이미징 균일성에서 최첨단 성능을 제공합니다. 또한, 이 장비는 사용자 친화적이며 직관적 인 인터페이스 (interface) 와 특수 포토레지스트 (photoresist) 를 갖추고 있으며, 탁월한 정확도와 해상도로 세밀한 패턴을 설계하고 인쇄할 수 있습니다.