판매용 중고 SVG 9022IS #9225181
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SVG 9022IS (photoresist equipment) 는 마스크 및 프레임 노출을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비로, 심자외선 광원과 자외선 렌즈에 의존하여 기판에 부드럽고 단단한 마스크 패턴을 형성합니다. 포토리스토그래피 (photolithography) 기술을 이용해 기판과 같은 소재로 패턴을 옮기는 스핀온 포토레지스트 (spin-on photoresist) 시스템이다. 포토레시스트 건조기 (photoresist dryer) 가 있으며, 개발자는 90 ° C에서 사용하도록 설계되었으며, 이를 통해 더 빠른 치료 시간과 패턴 이미지의 해상도를 향상시킬 수 있습니다. 9022IS 는 최신 기술을 사용하여 프로세스를 손쉽게, 제어할 수 있도록 합니다. 모든 광 (all-optical) 단일 마스크 아키텍처를 기반으로하며, 단위 출력은 최적의 패턴의 3 차원 마스크입니다. 기계는 또한 빛과 마모에 대한 높은 저항을 특징으로하며, 결과 패턴은 강력하고 정확합니다. 이 도구에는 0.1mW ~ 62.8W (0.1mW ~ 62.8W) 의 넓은 출력 범위의 뛰어난 균일성과 강도의 광원을 제공하는 쿼츠 음극 램프 (quartz cathode lamp) 가 있으며 낮은 작동 온도를 사용합니다. 또한, 조명화 된 영역을 기판에 잘 접착시켜 추가 접착제 또는 노출 후 (post-exposure) 가 필요하지 않은 고효율 접착제가 있습니다. 자산에는 노출 중 매개변수를 모니터링하고 조정하는 지능형 제어 모델 (Intelligent Control Model) 이 있으며, 이를 통해 정확한 노출 용량을 얻을 수 있습니다. 또한, UV 방사선을 안전하게, 손상 위험없이 기판을 처리 할 수 있습니다. 외래 입자를 감지하고 매우 정밀하게 제거 할 수도 있습니다. SVG 9022IS (SVG 9022IS) 는 매우 정밀하게 패턴을 개선하는 기능을 제공하는 반면, 낮은 수준의 결과를 얻을 수 있는 기회를 제공합니다. 기술적인 장점뿐 아니라, 기존의 포토레시스트 (photoresist) 시스템과 비교했을 때 향상된 성능과 전반적인 안전 프로파일을 제공 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고해상도 이미징 시스템 (High-Resolution Imaging System) 을 제공하여 패턴이 매우 정확하게 위치하고 생산되도록 합니다.
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