판매용 중고 SVG 90 #9085777

제조사
SVG
모델
90
ID: 9085777
웨이퍼 크기: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
SVG 90은 고급 사진 해설과 함께 사용하도록 설계된 최첨단 기술에서 파생 된 정교한 포토레시스트 (photoresist) 장비입니다. 그것 은 "글래스 '," 실리콘' 및 화합물 과 같은 기질 의 배열 에 있는 복잡 한 구조 를 안전 하고 정확 하게 무늬 로 만들 수 있도록 설계 되었다. 이 시스템은 고해상도 UV 레이저를 사용하며, 올인원 (All-in-One) 소프트웨어 패키지로 제어하여 정밀하게 작동하여 미세한 모양과 패턴을 만듭니다. 이 장치는 LIIG (Laser Induced Image Generation) 로 알려진 혁신적인 화학이없는 벡터 식각 프로세스를 사용합니다. 이러 한 과정 은 전통적 인 화학 "에칭 '의 필요성 을 없애 주며, 그 자체 의 저항성 물질 과 유해 한" 가스' 를 가지고 있다. 그 결과, 이 제품은 반도체 장치, MEMS, 센서 제조 등 다양한 애플리케이션에 효율적이고 비용 효율적입니다. 90 은 완전 자동화된 포토레시스트 머신 (photoresist machine) 을 특징으로하며 작동 시 높은 반복성과 일관성을 제공합니다. 플랫폼 크기는 SVG 90mm이며 직경이 최대 200mm 인 조각을 처리 할 수 있습니다. 특정 응용 프로그램에 적합한 다양한 필름 (film) 형식을 사용할 수 있으며, 이 도구를 사용하여 필름을 쉽게 재배치하여 패턴 크기를 변경할 수 있습니다. 이 외에도, 이 장치는 자동 전동 정렬 (Motorized Alignment) 및 고품질 패턴 생산을위한 뛰어난 해상도 처리를 제공합니다. 이 장치에는 균일 한 노출을 제공하는 상단 각도 램프 (top angle lamps) 로 구성된 최적화 된 조명 에셋이 장착되어 있습니다. 또한 각 단일 샷에 대해 노출 시간 (Exposure Time) 과 조명 수준 (Illumination Level) 을 자동으로 조정하는 자동 교정이 특징이며, 수동 조정 없이 패턴의 정확도를 향상시킵니다. 또한, 질감 표면 반사기와 UV 필터가 장착 된 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 는 노출을 제어하는 데 더 높은 효율성을 보장한다. 요약하자면, 90 (90) 은 기판 배열에서 복잡한 구조의 효율적이고 비용 효율적인 생산을 위해 설계된 고도의 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 자동화된 작동, 정밀한 레이저 노출, 최적화된 조명 장비를 통해 탁월한 정확성과 반복성으로 패턴을 안정적으로 생산할 수 있습니다. 또한, 벡터 식각 공정 및 화학이없는 작동은 미세하고 복잡한 모양을 요구하는 작동에 선호됩니다.
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